epitaxy techniqueとは 意味・読み方・使い方

This forming method includes forming the carbonaceous film made from fullerene on a substrate by a cluster ion beam technique or a molecular beam epitaxy technique, by using fullerene as the raw material.例文帳に追加

フラーレンを原料とし、クラスタイオンビーム法または分子線エピタキシー法により、基板上にフラーレンから成る炭素質皮膜を形成する。 - 特許庁

To provide a novel method for forming a thin layer of single crystal on an amorphous base layer by the micro-channel epitaxy technique based on the vapor growth method.例文帳に追加

気相成長法を用いたマイクロチャネルエピタキシー技術によって、非晶質膜上に単結晶薄膜を形成する新たな方法を提供する。 - 特許庁

To provide a technique for controlling a residual carrier to low concentration without changing characteristics of a semiconductor thin film when epitaxially growing the semiconductor thin film on a semiconductor substrate by an MBE (Molecular Beam Epitaxy) method or an MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) method.例文帳に追加

ＭＢＥ法又はＭＯＣＶＤ法により半導体基板上に半導体薄膜をエピタキシャル成長させる際に、半導体薄膜の特性を変えることなく、残留キャリアを低濃度に制御する技術を提供する。 - 特許庁