helical plasmaとは 意味・読み方・使い方

HELICAL RESONATOR TYPE PLASMA PROCESSING APPARATUS例文帳に追加

ヘリカル共振器型のプラズマ処理装置 - 特許庁

To provide a helical resonator type plasma processing apparatus.例文帳に追加

ヘリカル共振器型のプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

HELICAL RESONANCE APPARATUS FOR PLASMA GENERATION例文帳に追加

プラズマ生成用の螺旋共振装置 - 特許庁

To provide a substrate processing apparatus that can facilitate connection work of a helical resonance coil, a power supply part, and a grounding part of a helical plasma generation resonator to obtain a stable connection status, and further, can prevent melting, burning, etc. of the power supply and grounding parts caused by abnormal electrical discharge.例文帳に追加

プラズマ生成用螺旋共振器の螺旋状共振コイルと給電部、接地部との接続作業が容易で、安定した接続状態が得られ、又異常放電による前記給電部、前記接地部の溶解、焼損等を防止する基板処理装置を提供する。 - 特許庁

The helical resonance apparatus for generation of plasma is equipped with a resonator (1) consisting of a container (11) composed decommpressible and supplied with gas for plasma, resonance coil (12) and an electrically grounded outer shield (13), and is provided with a high frequency power source (2) for supplying high frequency power.例文帳に追加

プラズマ生成用の螺旋共振装置は、減圧可能に構成され且つプラズマ用ガスが供給される容器（１１）と、共振コイル（１２）と、電気的に接地された外側シールド（１３）とから成る共振器（１）、ならびに、共振コイル（１２）に高周波電力を供給する高周波電源（２）を備えている。 - 特許庁

To provide a helical resonance apparatus improved in order to easily correspond to resonance characteristics with changed treatment conditions wherein, the apparatus is for generation of plasma applied to a plasma treatment unit for etching, ashing, CVD or the like on semiconductor substrates and the like.例文帳に追加

半導体基板などにエッチング、アッシング、ＣＶＤ等の処理を施すプラズマ処理装置に適用されるプラズマ生成用の螺旋共振装置であって、処理条件の変更に対応して簡単に共振特性を適合させ得る様に改良されたプラズマ生成用の螺旋共振装置を提供する。 - 特許庁

In a plasma torch unit T, a helical conductor rod 3 is disposed in a quartz tube 4, and a brass block 5 is disposed around the quartz tube.例文帳に追加

プラズマトーチユニットＴにおいて、螺旋形の導体棒３が石英管４の内部に配置され、その周囲に真鍮ブロック５が配置されている。 - 特許庁