helical resonatorとは 意味・読み方・使い方

HELICAL RESONATOR TYPE PLASMA PROCESSING APPARATUS例文帳に追加

ヘリカル共振器型のプラズマ処理装置 - 特許庁

To provide a helical resonator type plasma processing apparatus.例文帳に追加

ヘリカル共振器型のプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

FEEDER CONNECTION STRUCTURE FOR HELICAL RESONATOR FILTER例文帳に追加

ヘリカル共振器フィルタの給電線接続構造 - 特許庁

A helical filter 1 has a resonator-coupled structure in which two helical coils 2, 3, one end of which is an open end and the other end of which is a ground end are accommodated in a metal case 4 and electromagnetically coupled to each other.例文帳に追加

ヘリカルフィルタ１は、一端を開放端とし、他端を接地端とした２つのヘリカルコイル２、３を金属ケース４内に収容して相互に電磁気的に結合した共振器結合構造を有している。 - 特許庁

To provide a substrate processing apparatus that can facilitate connection work of a helical resonance coil, a power supply part, and a grounding part of a helical plasma generation resonator to obtain a stable connection status, and further, can prevent melting, burning, etc. of the power supply and grounding parts caused by abnormal electrical discharge.例文帳に追加

プラズマ生成用螺旋共振器の螺旋状共振コイルと給電部、接地部との接続作業が容易で、安定した接続状態が得られ、又異常放電による前記給電部、前記接地部の溶解、焼損等を防止する基板処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide a simple and inexpensive tuning frequency variable resonator having the constitution of parts where a helical coil is simply adjusted and desired Q corresponding to a using frequency is obtained.例文帳に追加

簡単にヘリカルコイルを調整することができ、使用周波数に応じた所望のＱを得ることのできるような部品構成にして、シンプル且つ安価な同調周波数可変共振器を提供する。 - 特許庁

The helical resonance apparatus for generation of plasma is equipped with a resonator (1) consisting of a container (11) composed decommpressible and supplied with gas for plasma, resonance coil (12) and an electrically grounded outer shield (13), and is provided with a high frequency power source (2) for supplying high frequency power.例文帳に追加

プラズマ生成用の螺旋共振装置は、減圧可能に構成され且つプラズマ用ガスが供給される容器（１１）と、共振コイル（１２）と、電気的に接地された外側シールド（１３）とから成る共振器（１）、ならびに、共振コイル（１２）に高周波電力を供給する高周波電源（２）を備えている。 - 特許庁