high‐current ion beamの英語

NEGATIVE ION SOURCE FORMING NEGATIVE ION OF HIGH CURRENT DENSITY IN HIGH EFFICIENCY BY REDUCING GAS PRESSURE OF BEAM PASSAGE REGION例文帳に追加

ビーム通過領域のガス圧を低減し、高い電流密度の負イオンを高効率で生成する負イオン源 - 特許庁

To emit ion beam of high current from an ion source for a long period.例文帳に追加

長時間にわたって大電流のイオンビームをイオン源から放出させることができるガス流量設定方法およびイオンビーム加工装置を提供する。 - 特許庁

To provide a simple and versatile method for making an ion beam carry a high current, as to an ion beam generating device used for a device for analyzing an atomic arrangement on a surface and an interface by using a helium ion beam.例文帳に追加

ヘリウムイオンビームを用いて、表面・界面の原子配列を解析する装置に用いるイオンビーム発生装置に関し、簡便で汎用性のあるイオンビームの大電流化方法を提供する。 - 特許庁

To provide a new system structure for high-current ion beam generation improved in the uniformity of ion beams without requiring additional structuring elements, even if manufacturing cost is reduced and manufacturing processes are simplified.例文帳に追加

製造コストを下げ製造プロセスを簡略化しても追加の構成要素を必要としないで均一性を改良した高電流イオンビーム発生のための新しいシステム構成を提供すること。 - 特許庁

Furthermore, according to the present invention, by enhancing the ion production efficiency, the life of a filament can be lengthened by a high current of an ion beam 9 and/or the reduction of a discharging power.例文帳に追加

また、本発明により、イオン生成効率を向上することによってイオンビーム9の大電流化や放電電力の低減によるフィラメントの長寿命化を実現できる。 - 特許庁

To provide a graphite member for an internal member of a beam line which can remarkably reduce particles which enter into a surface of a wafer in an ion implantation apparatus of a high-current and low-energy type.例文帳に追加

高電流低エネルギータイプのイオン注入装置において、ウエハー表面に混入するパーティクルを著しく低減できるイオン注入装置のビームラインの内部部材用の黒鉛部材を提供すること。 - 特許庁

By making in a large caliber an insulating tube constituting a vacuum boundary of the draw-out part and the initial-step accelerating part in a negative ion source against an outside of the negative ion source, and preparing a large gas exhaust channel between the beam passage area and the insulating tube, gas pressure in the beam passage area is lowered and the negative ion of high current density is generated in high efficiency.例文帳に追加

負イオン源における引き出し部及び初段加速部と負イオン源外部との真空境界を構成する絶縁管を大口径とし、ビーム通過領域と絶縁管の間に大きなガス排気経路を用意することによって、ビーム通過領域のガス圧を低減し、高い電流密度の負イオンを高効率で生成する負イオン源。 - 特許庁