illumination doseとは 意味・読み方・使い方

As a result, even if the transmittance of the illumination optical system and projection optical system fluctuates during the exposure, the exposure dose on the wafer 25 is the target value.例文帳に追加

これにより、照明光学系や投影光学系の透過率が露光中に変動しても、ウエハ２５上での露光ドーズが目標値となる。 - 特許庁

During the conveyance towards the first direction, a microcomputer 40 brings in measured illumination values output from an illuminance sensor 25 at fixed intervals of time so as to calculate an ultraviolet-light irradiation dose per every imaginary range, which is set by imaginarily dividing the surface of the color thermosensitive recording paper sheet 10 towards its relative moving direction, in order to store the dose in an irradiation dose memory 43.例文帳に追加

第１方向への搬送中に、マイクロコンピュータ４０は、照度センサ２５から出力される測定照度値を一定時間毎に取り込み、カラー感熱記録紙１０の面を相対移動方向に仮想的に分割して設定した各仮想範囲毎の紫外線照射量を算出して照射量メモリ４３に記憶する。 - 特許庁

The determined illumination source intensities maximize the integrated range of dose and focal variations that can be tolerated without causing the printed shapes to depart from the allowed range of shapes.例文帳に追加

決定された照明源強度により、印刷される形状が許容範囲の形状から外れることなく、許容し得るドーズ量および焦点の変動の統合範囲が最大になる。 - 特許庁

Optimization is based on an estimated device structure and/or an estimated dose pattern that utilize one or more of the following factors: the low-pass characteristics of a projection system, the configuration of an illumination system, and the process window characteristics.例文帳に追加

最適化は、投影系のローパス特性、照明系の構成、及びプロセスウィンドウ特性のうちの１つまたは複数を利用するデバイス構造及び／またはドーズ量パターンの推定値に基づく。 - 特許庁

When a large area pattern is disposed around the subfield SF, the magnification of the lens of an optical system is changed, the width of the illumination beam is narrowed to reduce the dose level of the outer periphery SF2 of the subfield SF lowered than the central part SF1 (Fig. (C)).例文帳に追加

サブフィールドＳＦの周囲に大面積パターンが配置されている場合には、光学系のレンズの倍率を変えて、照明ビームの幅を狭くすることにより、サブフィールドＳＦの外周部ＳＦ２のドーズレベルを中央部ＳＦ１より低くする（図１（Ｃ））。 - 特許庁