in situ processとは 意味・読み方・使い方

To enable use of the same vacuum system as one used in a case of normal film formation during in-situ cleaning, regarding semiconductor manufacturing equipment which executes the in-situ cleaning after a film is formed on a wafer in an insulating film forming process.例文帳に追加

本発明は絶縁膜形成工程でウエーハ上に膜を成膜した後にin-situクリーニングを実行する半導体製造装置に関し、in-situクリーニング中に、通常の成膜の場合と同じ真空系が使用できるようにすることを目的とする。 - 特許庁

The in-situ process is controlled by optical and electrical measurement.例文帳に追加

光学的及び電気的測定によって、ｉｎ−ｓｉｔｕのプロセスが制御される。 - 特許庁

METHOD AND SYSTEM FOR REAL TIME, IN-SITU INTERACTIVE MONITORING OF MANUFACTURING PROCESS OF SEMICONDUCTOR WAFER例文帳に追加

半導体ウエハ製作プロセスのリアルタイム・インシチュ対話型監視方法およびシステム - 特許庁

To provide a method for monitoring and optimizing a process related to a semiconductor device and its components in-situ, ex-situ and in-line.例文帳に追加

半導体デバイス及びその構成要素に係るプロセスをｉｎ−ｓｉｔｕ、ｅｘ−ｓｉｔｕ、及びインラインでモニター及び最適化する方法 - 特許庁

To provide a method of controlling a wafer process and a processor used therefor which can detect a failure in a process in situ during processing and immediately feed it back.例文帳に追加

プロセスを行っているその場で（in situ）プロセスの異常を検出し得るようにし、直ちにフィードバックすることができるウェハプロセスの管理方法およびそれに用いるプロセス装置を提供する。 - 特許庁

IN-SITU POST ETCH PROCESS TO REMOVE REMAINING PHOTORESIST AND RESIDUAL SIDEWALL PASSIVATION例文帳に追加

残存フォトレジスト及び残留側壁パッシベーションを除去する、その場でのポストエッチング工程 - 特許庁

To provide an in-situ XAFS analyzer of a very small amount of a substance in a solution capable of analyzing the reaction process of a very small amount of the substance in the solution by in-situ analysis.例文帳に追加

その場分析で溶液中の微量物質の反応過程の解析が可能な溶液中の微量物質のｉｎ−ｓｉｔｕ ＸＡＦＳ分析装置を提供する。 - 特許庁

To detect a final point highly accurately and to improve flatness of CMP process by carrying out highly accurate film thickness measurement by specifying a measurement position in-situ measurement during CMP process.例文帳に追加

ＣＭＰ加工する際、in-situで計測位置を特定して高精度に膜厚計測を行ない、高精度な終点検出を行うとともに、ＣＭＰ加工の平坦性の向上を図ること。 - 特許庁