laser displacement interferometerとは 意味・読み方・使い方

A laser interferometer 5 is arranged at the upper portion of the channel cover 4, and the displacement of an air pressure receiving plate 16 is measured through the channel cover 4.例文帳に追加

流路カバー４の上方にレーザー干渉計５を配置し、流路カバー４を透して受動板１６の変位を計測する。 - 特許庁

To provide a laser interferometer capable of appropriate measurement of displacement of an object to be measured even if the object moves.例文帳に追加

被測定物が移動をする場合であっても適切に被測定物の変位を測定することができるレーザ干渉計の提供。 - 特許庁

To miniaturize a measuring device by constituting an interferometer with the minimum constitution, in minute displacement measurement utilizing laser light.例文帳に追加

レーザ光を利用した微小変位測定において、最小構成で干渉計を構成し、測定装置の小型化を図る。 - 特許庁

The angular displacement of the object is measured by an interferometer, by splitting a laser beam into a reference beam and a measuring beam.例文帳に追加

レーザビームを参照ビーム及び測定ビームに分割することによって、物体の角変位が干渉計によって測定される。 - 特許庁

To provide a heterodyne laser interferometer which can minimize displacement in reference beam and measuring beam due to rotation of stage.例文帳に追加

干渉計においてステージの回転による基準ビームと測定ビームのずれを最小限に抑える。 - 特許庁

A displacement of the prism 20A in a Z direction is measured by a Z-axis laser interferometer 22A, the prism 20A and a fixed mirror 24A for reflecting the laser beam LA reflected upward by the prism 20A in an incident direction and returning the laser beam LA.例文帳に追加

Ｚ軸レーザ干渉計２２Ａ、プリズム２０Ａ、及びプリズム２０Ａで上方に反射されたレーザビームＬＡを入射方向に反射して戻す固定ミラー２４Ａによって、プリズム２０ＡのＺ方向の変位を計測する。 - 特許庁

To enable accurate and easy measurements and evaluation of dynamic linearity, using a laser interferometer for a laser displacement meter used for industrially important fields.例文帳に追加

産業上において重要な分野で利用されているレーザ変位計について、レーザ干渉計を用いて動的線形性を正確且つ容易に計測し、評価できるようにする。 - 特許庁

A fixed measuring member and a displacement measuring member are located at both ends of a cylinder and a laser beam is introduced to a laser light wave interferometer 400 of the autonomous control caliper having inside a nearly-vacuum closed hollow space.例文帳に追加

固定測定部材および変位測定部材を外筒の両端に設け、内部に略真空の密閉中空部を有した自律制御端度器のレーザ光波干渉計４００にレーザ光を入射する。 - 特許庁