local controllabilityとは 意味・読み方・使い方

Thus local dimensional controllability can be improved.例文帳に追加

ローカル寸法制御性の改善を図ることができる。 - 特許庁

To reduce the adhesion of fine foreign matter to a processing workpiece held inside a cassette by improving the controllability of flow velocity of a local air flow within a casing of a mini environment device.例文帳に追加

ミニエンバイロメント装置の筺体の内部における局所的な気流の流速の制御性を向上させ、カセットの内部に保持された処理ワークへの微小異物の付着を抑制する。 - 特許庁

Through reduction of mutual interference of the elements and heightening of the independency, the controllability in each local place for the electromagnetic field distribution is enhanced and the plasma density distribution in the plasma space 5 is made uniform.例文帳に追加

複数の誘導結合素子の相互干渉を軽減して独立性を高めたことにより、電磁界分布に対する局所ごとの制御性が向上して、プラズマ空間５のプラズマ密度分布が一様になる。 - 特許庁

To provide a board placing table which has good temperature controllability for a board to be processed and is free of a singular point such as local abrupt variation in heat removal amount over the entire board.例文帳に追加

被処理基板の温度制御性がよく、基板全体において局所的に抜熱量が急変するような特異点の無い基板載置台を提供する。 - 特許庁

To uniformize the quality of material and to improve the yield ratio by preventing local overcooling of a steel plate, improving temperature controllability, and restraining temperature unevenness by immediately all at once eliminating the cooling medium staying on the top side of a high temperature steel plate after finishing of cooling.例文帳に追加

冷却終了後、直ちに、高温鋼板上面上に滞留している冷却媒体を一斉に排除して、鋼板の局所的な過冷却を防止し、温度制御性を向上させ、且つ温度ムラを抑制することによって、材質の均一化、歩留まりを向上させる。 - 特許庁