low k dielectricsとは 意味・読み方・使い方

METHOD OF MINIMIZING WET ETCH UNDERCUTS AND CARRYING OUT PORE-SEALING TO SUPER-LOW K (K<2.5) DIELECTRICS例文帳に追加

ウェットエッチングアンダカットを最小にし且つ超低Ｋ（Ｋ＜２．５）誘電体をポアシーリングする方法 - 特許庁

Selection of a polishing stop layer (formed on a surface of low k dielectrics), which has permittivity nearly equal to that of dielectrics positioned below is enabled by using spin coating, so that effective permittivity of an obtained structure is not significantly increased.例文帳に追加

スピン・コーティングの使用により、下にある誘電体とほぼ等しい誘電率を有する研磨停止層（低ｋ誘電体の表面に形成される）の選択が可能になるので、得られる構造の有効誘電率は著しくは増加しない。 - 特許庁

The low-k dielectric film can be then processed to form a metal interconnect structure therein and subsequently exposed to a second ultraviolet radiation pattern effective to remove the porogen material from the low-k dielectrics film and form a porous low-k dielectric film.例文帳に追加

低ｋの誘電体フィルムは、それから、そこで金属の相互接続構造を形成するために処理され、連続して、低ｋの誘電体フィルムから、ポロゲン材料を除去するのに有効な第二の紫外線照射パターンへ露光され、多孔性の低ｋの誘電体フィルムを形成する。 - 特許庁

To prevent occurrence of interfacial delamination of a hydrophobic membrane to be used for interlayer dielectrics and a hydrophilic membrane to be used for a liner membrane or a barrier membrane in a multilayer wiring structure using the hydrophobic membrane like a low-k membrane.例文帳に追加

ｌｏｗ−ｋ膜のような疎水性膜を使用した多層配線構造において、層間絶縁膜に使用する疎水性膜とライナー膜又はバリア膜として使用する親水性膜との界面剥離の発生を防止する。 - 特許庁