low temperature plasmaとは 意味・読み方・使い方

To provide a plasma processing apparatus that improves reproducibility of plasma processing such as a plasma deposition processing, by maintaining a low process temperature, when carrying out the plasma processing under the process temperature at a low temperature range of about room temperature.例文帳に追加

プロセス温度が室温程度の低い温度帯域でプラズマ処理する際に、そのプロセス温度を低く維持してプラズマ成膜処理等のプラズマ処理の再現性を向上させることが可能なプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide a high-frequency heat plasma apparatus which provides a low-temperature plasma flame having a wide uniform temperature range without fear of an accidental fire of a plasma torch.例文帳に追加

プラズマトーチの失火のおそれなしに温度の低い均一温度領域の広いプラズマフレームが得られる高周波熱プラズマ装置。 - 特許庁

To provide a plasma generator and a plasma generating method capable of generating uniform low temperature plasma at low cost.例文帳に追加

安価に、均一な低温プラズマを発生することができるプラズマ発生装置及びプラズマ発生方法を提供する。 - 特許庁

To permit controlling the temperature of a plasma generating container upon generation of plasma low.例文帳に追加

プラズマ生成時のプラズマ生成容器の温度を低く抑えることができるようにする。 - 特許庁

To provide a plasma processing device capable of carrying out plasma processing uniformly at a low temperature.例文帳に追加

低温で均一なプラズマ処理を行なうことができるプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

To remove a cured residual photoresist material, low-temperature plasma treatment is executed, where the low-temperature plasma treatment prevents a change in the structure of reflection prevention coating.例文帳に追加

硬化した残留フォトレジスト材料を除去するために、反射防止コーティングの構造を変化させない低温プラズマ処理が実行される。 - 特許庁

The low-temperature plasma device 105 may further comprise a reforming catalyst 109.例文帳に追加

低温プラズマ装置１０５は改質触媒１０９を有していてもよい。 - 特許庁

LOW TEMPERATURE PLASMA STERILIZATION METHOD FOR LONG TUBE AND STERILIZATION APPARATUS例文帳に追加

長尺細管の低温プラズマ殺菌方法及び殺菌装置 - 特許庁