mechanical cleaningとは 意味・読み方・使い方

To provide a substrate cleaning device provided with the stabilized mechanical performance and high cleaning performance.例文帳に追加

安定した機械的性能と、高い洗浄性能を有する基板洗浄装置を提供すること。 - 特許庁

PAD CLEANING BRUSH FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING SAME例文帳に追加

ケミカルメカニカルポリシング装置用パッド洗浄ブラシおよびその製造方法 - 特許庁

SURFACE TREATMENT AND CLEANING METHODS FOR MECHANICAL PART, ETC., AND APPARATUS THEREFOR例文帳に追加

機械部品等の表面処理および洗浄方法ならびにそれらの装置 - 特許庁

METHOD FOR CHEMICAL AND MECHANICAL POLISHING OF CONDUCTOR ON BOARD, AND CLEANING METHOD例文帳に追加

基板上導電体の化学的機械研磨方法および洗浄方法 - 特許庁

For example, the projection is broken by adding the mechanical shock by means of any one of a brush scrubber cleaning, an ultrasonic cleaning, a high pressure gas stream spraying cleaning, a high pressure water stream spraying cleaning, or an aerosol cleaning.例文帳に追加

たとえば、ブラシスクラバ洗浄、超音波洗浄、高圧ガス流吹きつけ洗浄、高圧水流吹きつけ洗浄あるいはエアロゾル洗浄のうちいずれかにより機械的衝撃を加えて破断する。 - 特許庁

CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS AND METHOD FOR CLEANING AWAY CONTAMINANT IN POLISHING HEAD例文帳に追加

化学機械的研磨装置及び研磨ヘッド内部の汚染物質洗浄方法 - 特許庁

A chemical mechanical polishing apparatus has a plurality of polishing stations and a cleaning station.例文帳に追加

化学的機械研磨装置は、複数の研磨用ステーションとクリーニング用ステーションを有する。 - 特許庁

BRUSHLESS MULTIPLE PATH CLEANING METHOD FOR SILICON WAFER AFTER CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING USING IMMERSION例文帳に追加

浸漬を用いた化学的機械的研磨後のシリコンウエハーのブラシレス多重パス洗浄方法 - 特許庁