methyltrichlorosilaneとは 意味・読み方・使い方

The silicon carbide is synthesized under specific conditions using hydrogen gas and methyltrichlorosilane gas as reactants.例文帳に追加

炭化珪素は水素ガスおよびメチルトリクロロシランを反応物質として用いる特定の条件下で合成される。 - 特許庁

The material is produced by adding an organic aluminum compound as a curing catalyst to a condensate of methyltrichlorosilane with dimethyldimethoxysilane.例文帳に追加

メチルトリクロロシランとジメチルジメトキシシランとの縮合物に、硬化触媒として有機アルミニウム化合物を添加してなるものである。 - 特許庁

The condensate is preferably produced by condensing 2 or more equivalents of dimethyldimethoxysilane with 1 equivalent of methyltrichlorosilane and has a methoxysilyl group at its molecule terminal.例文帳に追加

前記縮合物としては、メチルトリクロロシラン１当量に対し、ジメチルジメトキシシラン２当量以上を縮合し、分子末端にメトキシシリル基を有するものが好ましい。 - 特許庁

Methyltrichlorosilane(MTS) 10 as a raw gas, and argon 20, a hydrogen gas 24 and a nitrogen gas 28 that are a carrier gas, are mixed 18 by controlling a flow rate, respectively (18) and fed to the CVD apparatus (32).例文帳に追加

原料ガスのメチルトリクロロシラン（ＭＴＳ）１０、キャリアガスのアルゴン２０、水素ガス２４、および窒素ガス２８をそれぞれ流量コントロールして混合１８し、ＣＶＤ装置に供給３２される。 - 特許庁

This aromatic organoboron compound is obtained by reacting an organometallic compound with an organoboron compound containing the tetraarylboron anion and then reacting the resultant reaction product with a specified silicon compound such as methyltrichlorosilane or dimethyldichlorosilane in a solvent including a hydrocarbon or chain ether.例文帳に追加

テトラアリールホウ素アニオンを含む有機ホウ素化合物に有機金属化合物を反応させ、得られる反応物をメチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシランなどの所定の珪素化合物と、炭化水素または鎖状エーテルを含む溶媒中で反応させることにより、芳香族有機ホウ素化合物を得る。 - 特許庁

To provide a device for generating methyltrichlorosilane (MTS) gas, which efficiently mixes hydrogen as a carrier gas with MTS, in a step of coating microparticles with a SiC layer through loading the microparticles in a fluidized bed and heat-decomposing MTS, in a process of producing the microparticles for a high-temperature gas-cooled reactor.例文帳に追加

高温ガス炉用微小粒子を製造する工程の内、微小粒子を流動床に装荷し、メチルトリクロロシラン（ＭＴＳ）を熱分解させることによりＳｉＣ層の被覆を施す工程において、キャリアガスの水素にＭＴＳを効率よく混合させるＭＴＳガス発生装置を得る。 - 特許庁