minienvironmentとは 意味・読み方・使い方

MINIENVIRONMENT POD例文帳に追加

ミニエンバイロメントポッド - 特許庁

MINIENVIRONMENT EQUIPMENT, SHEET-LIKE OBJECT MANUFACTURING SYSTEM, AND METHOD OF REPLACING ATMOSPHERE IN SANITIZED VESSEL例文帳に追加

ミニエンバイロメント装置、薄板状物製造システム及び清浄容器の雰囲気置換方法 - 特許庁

To provide minienvironment equipment, a sheet-like object manufacturing system, and a method of replacing the atmosphere of a sanitized vessel whereby it is possible to prevent impurity gas from reaching a semiconductor wafer in the sanitized vessel and the minienvironment equipment and thus to prevent a reduction in yield.例文帳に追加

清浄容器及びミニエンバイロメント装置内での半導体ウエハへの不純物ガスの接触を防止して歩留りの低下を防止することが出来るミニエンバイロメント装置、薄板状物製造システム及び清浄容器の雰囲気置換方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a pod for suppressing diffusion of microfine dust etc., accompanying a cover of the pod into a minienvironment, and to provide an FIMS system corresponding to the pod.例文帳に追加

IMSシステムにおいてポッドの蓋に付随する極微小な塵等のミニエンバイロンメント内への拡散を抑制するポッド及び該ポッドに応じたFIMSシステムを提供する。 - 特許庁

To provide a minienvironment device capable of effectively utilizing circulated flow, and keeping high cleaning level in the device while reducing load on a filter or the like.例文帳に追加

循環流を効果的に活用し、フィルタ等の負荷を低減しつつ、装置内の清浄度を高清浄に保つことができるミニエンバイロメント装置を提供する。 - 特許庁

To provide a pod for suppressing diffusion of microfine dust etc., accompanying a cover of the pod into a minienvironment and an FIMS system corresponding to the pod.例文帳に追加

FIMSシステムにおいてポッドの蓋に付随する極微小な塵等のミニエンバイロンメント内への拡散を抑制するポッド及び該ポッドに応じたFIMSシステムを提供する。 - 特許庁

The equipment comprises a load port 13 for loading a cleaning container 12, which hermetically stores a sheet-like object, and detachably opening/closing the lid of the container, a conveyor 14, a fan filter unit 15, and a circulation path 24 for gathering air in a minienvironment chamber 91-1 and circulating the air in the fan filter unit 15.例文帳に追加

薄板状物を気密可能に収納する清浄容器１２を載置し、その蓋を着脱開閉するためのロードポート１３と、搬送機１４と、ファンフィルタユニット１５と、ミニエンバイロメント室９１−１内の気体を回収してファンフィルタユニット１５に循環させる循環路２４を具えている。 - 特許庁