ミニエンバイロメントの英語

多関節ロボットアームの関節部構造、及びミニエンバイロメント装置例文帳に追加

JOINT STRUCTURE OF MULTI-JOINT ROBOT ARM AND MINI-ENVIRONMENT DEVICE - 特許庁

クリーンルーム又はミニエンバイロメントの雰囲気中の粒子濃度評価方法例文帳に追加

METHOD OF EVALUATING PARTICLE CONCENTRATION IN ATMOSPHERE OF CLEAN ROOM OR MINI-ENVIRONMENT - 特許庁

ミニエンバイロメント装置、検査装置、製造装置、及び空間の清浄化方法例文帳に追加

MINI-ENVIRONMENT DEVICE, INSPECTION DEVICE, MANUFACTURING DEVICE, AND SPACE CLEANING METHOD - 特許庁

ミニエンバイロメント基板搬送装置、ロードポートおよび搬送容器内基板の除電方法例文帳に追加

MINI-ENVIRONMENT SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE, LOAD PORT AND METHOD OF ELIMINATING ELECTRICITY IN SUBSTRATE WITHIN TRANSPORT CONTAINER - 特許庁

ミニエンバイロメント装置、薄板状物製造システム及び清浄容器の雰囲気置換方法例文帳に追加

MINIENVIRONMENT EQUIPMENT, SHEET-LIKE OBJECT MANUFACTURING SYSTEM, AND METHOD OF REPLACING ATMOSPHERE IN SANITIZED VESSEL - 特許庁

このような多関節のロボットアーム２０ｂの関節部構造を具備する搬送ロボット２０を、ミニエンバイロメント装置に備える。例文帳に追加

A transfer robot 20 provided with the joint structure of the multi-joint robot arm 20b is installed on the mini-environment device. - 特許庁

光学系を確実に保護できると共にランニングコストおよびイニシャルコストを確実に削減できるミニエンバイロメント装置を提供する。例文帳に追加

To provide a mini environment device, in which an optical system is protected without fail and further running cost and initial cost are surely reduced. - 特許庁

アウトガスによる汚染を防止しつつ、温度に対する高い耐久性を有する高性能、高信頼性のファンフィルターユニット、このファンフィルターユニットを用いたミニエンバイロメント、及びこのミニエンバイロメントを備えたクリーンルームを提供すること。例文帳に追加

To provide a high performance and high reliability fan filter unit, having high durability against temperature as pollution by out gas is prevented from occurring, and to provide mini-environment using the fan filter unit and a clean room having the mini-environment. - 特許庁