objective current centerとは 意味・読み方・使い方

The rotation center is found as the position of the survey objective substance, by this manner, because the peak position is rotated when the electrifying direction of the current is changed.例文帳に追加

このように、電流の通流方向を変更するとピーク位置も回転するため、その回転中心を探査対象物質の位置として求める。 - 特許庁

In the inspection, a top stage deflector 19 deflects a primary electron beam EB incident on a sample 18 which has a sample irradiation current quantity and a parallelism required for the inspection, so that the beam irradiates out of the center axis of an objective 17, is subjected to the focusing action of the objective 17 and deflected on the objective center axis on the sample 8 surface.例文帳に追加

検査に必要な試料照射電流量、平行度を有して試料１８に入射した一次電子ビームＥＢは、検査時には、上段偏向器１９により偏向され、対物レンズ１７の中心軸外に入射し、対物レンズ１７により収束作用を受けると共に、試料８面上の対物レンズ中心軸上に偏向される。 - 特許庁

An aperture for controlling an electron beam current has one or a plurality of holes other than a hole at a center of an optical axis on the periphery of the hole at the center so that spherical aberration of an objective lens forces electron beams passing through the holes to land at places a little distant from landing point of the electron beam coming from the hole at the center.例文帳に追加

電子線の電流を制限する絞りに、光軸中心の孔以外の孔を周囲に１個または複数個設け、それらの孔を通過した電子線が対物レンズの球面収差の作用により中心の孔からの電子線の着地点よりやや離れた場所に着地するようにする。 - 特許庁