partial pressure analyzerとは 意味・読み方・使い方

PARTIAL PRESSURE DETECTION METHOD OF SPECIFIC GAS AND QUADRUPOLE MASS ANALYZER例文帳に追加

特定ガスの分圧の検出方法、及び四重極型質量分析計 - 特許庁

A valve 60 is arranged and installed inside the pipe 58, and the partial pressure analyzer 56 and the manifold 52 are made to communicate selectively during an operation.例文帳に追加

残留ガスアナライザは、検査対象中の空気の酸素、窒素、および他の成分の存在を判断する。 - 特許庁

The hydrogen amount measuring apparatus 10 includes a vacuum chamber 11, an electric furnace 13 for raising the temperature of the chamber 11 from room temperature to a high temperature, a partial pressure analyzer 15 for analyzing the partial pressure of the hydrogen gas discharged from the steel material sample 20 and a controller 17 for calculating the amount of hydrogen contained in the sample 20A on the basis of the partial pressure output from the analyzer 15.例文帳に追加

水素量測定装置１０は、真空チャンバー１１と、チャンバー１１を室温から高温に向かって昇温させる電気炉１３と、鋼材試料２０Ａから放出される水素ガスの分圧を分析する分圧分析計１５と、分析計１５から出力された分圧に基づいて試料２０Ａに含まれる水素量を求めるコントローラ１７とを備えている。 - 特許庁

In the pressure-measuring method for measuring total pressure in a vacuum camber containing a mixed gas, the partial pressure in the chamber 1 is measured by a mass analyzer 5, and the total pressure in the chamber 1 is measured by an ionization vacuum gauge 6.例文帳に追加

混合ガスを含む真空チャンバ内の全圧力を測定する圧力測定方法であって、質量分析計５によってチャンバ１内の分圧を測定し、電離真空計６によってチャンバ１内の全圧を測定する。 - 特許庁

The partial pressure of the specific gas in a gas to be measured is detected by measuring the ion current value corresponding to the mass charge ratio of the specific gas using a quadrupole mass analyzer 10.例文帳に追加

四重極型質量分析計１０を用いて、特定ガスの質量電荷比に対応するイオン電流値を測定することにより、被測定ガス中の前記特定ガスの分圧を検出する方法である。 - 特許庁

Under a condition where vacuum evacuating from the vacuum vessel is stopped, by opening the movable valve, the cumulated gas inside the vacuum vessel is sent to the measuring vessel, to measure the partial pressure of gas in the measuring vessel by the mass analyzer.例文帳に追加

測定容器の真空排気を停止した状態で、開閉バルブを開放して積算された真空容器内のガスを測定容器内に送り込み、質量分析器により測定容器内のガス分圧を測定する。 - 特許庁

Malfunction of process in the plasma enhanced CVD system is confirmed by a method comprising a step for determining the historical gradient of partial pressure line as a function of time, a step for calculating a new gradient of line based on partial pressure measurements by the residual gas analyzer 63, a step for comparing the historical gradient with the new gradient, and a step for delivering a signal to an operator.例文帳に追加

時間の関数として分圧のラインのヒストリカルな勾配を求めるステップと、残留ガス分析器６３による分圧測定に基づいたラインの新規な勾配を計算するステップと、ヒストリカルな勾配と新規な勾配を比較するステップと、オペレータに信号を送るステップとを含む方法により、プラズマ増強型化学気相堆積システム内のプロセス不調を確認する。 - 特許庁