plasma asherとは 意味・読み方・使い方

METHOD FOR STRIPPING MASK RESIST BY PLASMA ASHER AND APPARATUS THEREFOR例文帳に追加

プラズマアッシャーによるマスクレジスト剥離方法及びその装置 - 特許庁

An asher device 10 includes a plasma source section 430 generating plasma, a susceptor 459 mounting a wafer 600 and two layers of non-metal shield plates 510, 540 disposed between the plasma source section 430 and the susceptor 459.例文帳に追加

アッシャ装置１０は、プラズマを生成するプラズマソース部４３０と、ウエハ６００を載置するサセプタ４５９と、プラズマソース部４３０とサセプタ４５９との間に設けられた、２層の非金属性の遮蔽板５１０、５４０とを有する。 - 特許庁

To provide a method for stripping a mask resist by a plasma asher, by which a resist on a surface and an end face of a mask can be stripped and cleaned without giving damages to a chromium pattern on the mask surface.例文帳に追加

本発明は、マスク表面のクロムパターンにダメージを与えることなく、マスクの表面及び端面のレジストを剥離洗浄することができるプラズマアッシャーによるマスクレジスト剥離方法を提供することを目的とするものである。 - 特許庁

In a plasma asher which introduces oxygen and steam into the evacuated vacuum chamber to generate the plasma at high frequency and peels resist off the substrate held horizontally, the substrate cleaning apparatus is characterized by obliquely irradiating the substrate with plasma by tilting an evacuated vacuum chamber.例文帳に追加

本発明は、減圧した真空チャンバ内に酸素と水蒸気を導入して高周波によりプラズマを発生させ、水平に保持した基板のレジストを剥離するプラズマアッシャーにおいて、前記真空チャンバを傾けて基板に対してプラズマを斜めから照射することを特徴とする基板洗浄装置の構成とした。 - 特許庁