recoil ionsとは 意味・読み方・使い方

The recoil ions having a specified recoil angle are selected out of the extracted recoil ions by an energy filter 33, and is detected by an annular ion detector 34 arranged inside the same space.例文帳に追加

抽出された反跳イオンは、エネルギーフィルタ３３で特定の反跳角のものが選択され、同じ空間内に配置されている円環状のイオン検出器３４で検出される。 - 特許庁

The recoil ions Io come into a space between the internal cylinder 30 and the external cylinder 31, and the recoil ions within a range having a prescribed recoil angle are extracted by annular slit inside the space.例文帳に追加

この反跳イオンＩｏは外筒３１と内筒３０との間の空間に入り込み、その空間内の円環状をなすスリットで所定反跳角の範囲の反跳イオンを抽出する。 - 特許庁

Deuterium ions accelerated by pulse gas discharge plasma are injected into the electrode surface constituted from the liquid lithium, and the momentum shifted to the lithium atoms colliding with the ions is exported to neutrons, to thereby prevent recoil of the lithium atoms.例文帳に追加

本発明は、リチウム原子が反跳を受けることを防止し、非熱核融合反応の実用装置を実現可能にする。 - 特許庁

To provide a calibration device for preliminarily confirming the corresponding relation of the collision relation of the energy of recoil ions with a recoil ion detection means by a simple device, and to provide a calibration method using it.例文帳に追加

簡単な装置で反跳イオンのエネルギーとその反跳イオンの検出手段への衝突位置の対応関係を予め確認する校正装置及び校正のための方法を提供すること。 - 特許庁

An ion source 11 injecting ions into a vacuum chamber 2 and a detector 12 detecting recoil atoms made to recoil by injection ions are communicated and mounted in the vacuum chamber 2 installed to the surface treatment apparatus for measuring the hydrogen concentration of a thin-film surface in the surface treatment apparatus (a film deposition device) by an elastic recoil- particle detecting method by a low-energy ion scattering spectral method.例文帳に追加

低エネルギーイオン散乱分光法による弾性反跳粒子検出法によって表面処理装置（成膜装置１）内の薄膜表面の水素濃度を測定するために、真空室２内にイオンを入射するイオン源１１と該入射イオンによって反跳される反跳原子を検出する検出器１２とを、表面処理装置が備える真空室２内に連通させて設ける。 - 特許庁

The ion detector counts the incident recoil ions in every energy level to display the distribution of counted values hereinbefore with respect to the energy as energy spectra to a monitor.例文帳に追加

このイオン検出器３４は、エネルギーの大きさ毎に入射した反跳イオンを計数し、エネルギーに対する計数値の分布をエネルギースペクトルとして図示しないモニタに表示させる。 - 特許庁

Since the end face 14a of the shutter 14 has an inclination surface having an inclination angle larger than a diffusion angle of ion beams, reflected ions and recoil particles on the shutter end face 14a can be reduced.例文帳に追加

シャッタ１４の端面１４ａをイオンビームの拡散角度よりも大きい傾斜角度を有する傾斜面とすることで、シャッタ端面１４ａでの反射イオンや反跳粒子を少なくできる。 - 特許庁