recurrence gasとは 意味・読み方・使い方

To obtain a sealing material for gas piping, which simply and surely stops gas leak from gas piping even in an active condition of pipe or gas piping in a standing condition for a long period of time and prevents recurrence of gas leak.例文帳に追加

活管状態のガス配管や、立設するガス配管からのガス漏れを簡便且つ確実に長期にわたって塞いで、ガス漏れの再発を防止し得るガス配管用シール材を提供すること。 - 特許庁

Then, the gas flow rate of each of the gas flow passages 36A is adjusted by recurrence calculation so that the deviation of the film growing speed can be reduced, using film growing sensitivity data defining sensitivity influenced by a change of a gas flow rate of each of the gas flow passages 36A on a change in film growing speed on the wafer 28.例文帳に追加

そして、ガス流路３６Aのそれぞれのガス流量の変化がウェハ２８上の膜成長速度分布の変化に及ぼす感度を定義した膜成長感度データを用いて、回帰計算により、上記の膜成長速度の偏差を減らすように、それぞれのガス流路３６Aのガス流量が調整される。 - 特許庁