resist profileとは 意味・読み方・使い方

To obtain a resist pattern having a preferable profile while preventing inclination or collapse of the resist pattern.例文帳に追加

レジストパターンが傾いたり又は倒れたりせず、良好な形状を有するレジストパターンが得られるようにする。 - 特許庁

To provide a resist pattern forming method by heat lithography, by which a resist pattern of excellent profile can be formed.例文帳に追加

形状の優れたレジストパターンを形成できる、熱リソグラフィーによるレジストパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide a positive resist composition for thick film resist film formation capable of forming a thick film resist pattern with good profile, a thick film resist laminate and a resist pattern forming method.例文帳に追加

形状の良好な厚膜のレジストパターンを形成できる厚膜レジスト膜形成用のポジ型レジスト組成物、厚膜レジスト積層体およびレジストパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide a resist composition for forming a resist pattern excellent in resolution and a profile, to provide a resist pattern forming method using the resist composition, and to provide a compound suitable for the resist composition.例文帳に追加

解像性および形状に優れたレジストパターンを形成できるレジスト組成物、該レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法、および該レジスト組成物用として好適な化合物を提供する。 - 特許庁

To provide the formation of a resist pattern which is improved to the extent such that the resist profile of chemically amplified resist can be controlled.例文帳に追加

化学増幅型レジストのレジストプロファイルをコントロールすることかできるように改良された、レジストパターンの形成方法を提供することを主要な目的とする。 - 特許庁

To provide a positive resist composition excellent in solubility in an organic solvent and capable of forming a resist pattern of good profile, and a resist pattern forming method.例文帳に追加

有機溶剤への溶解性に優れ、かつ良好な形状のレジストパターンを形成できるポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

To improve the profile of a resist pattern obtained by means of immersion lithography.例文帳に追加

液浸リソグラフィにより得られるレジストパターンの形状を良好にできるようにする。 - 特許庁

To provide a resist composition having excellent sensitivity and resolution and giving a favorable pattern profile.例文帳に追加

感度と解像性に優れ、更にはパターン形状も良好なレジスト組成物を提供する。 - 特許庁