resist patternsとは 意味・読み方・使い方

The resist is exposed to desired patterns and is developed.例文帳に追加

レジストを所望のパターンで露光し、現像する。 - 特許庁

To provide a positive-type resist composition capable of forming resist patterns of reduced roughness, and to provide a method of forming such resist patterns.例文帳に追加

ラフネスの低減されたレジストパターンを形成できるポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

The substrate is etched by using the resist patterns as a mask.例文帳に追加

レジストパターンをマスクに用いて、基板をエッチングする。 - 特許庁

The test resist patterns are finely processed (S3, S7).例文帳に追加

テスト用レジストパターンを微細化処理する（Ｓ３，Ｓ７）。 - 特許庁

Resist patterns are formed on a plurality of inspecting wafers, and the dimensions of the resist patterns are measured (steps S2-S4).例文帳に追加

複数の検査用ウェハにレジストパターンを形成し、そのレジストパターンの寸法を測定する（ステップＳ２〜Ｓ４）。 - 特許庁

Also, the formation of the fine resist patterns is made possible.例文帳に追加

また、微細なレジストパターンの形成が可能となる。 - 特許庁

The method of manufacturing the resist patterns including applying the resist pattern thickness-reducing material so as to cover the surface of the formed resist patterns and forming a mixing layer with the resist pattern thickness- reducing material on the surface of the resist patterns.例文帳に追加

形成したレジストパターンの表面を覆うように該レジストパターン薄肉化材料を塗布し、該レジストパターンの表面に該レジストパターン薄肉化材料とのミキシング層を形成することを含むレジストパターンの製造方法。 - 特許庁

The method for manufacturing semiconductor devices further includes a step of manufacturing the thickened resist patterns by forming the resist patterns on an underlayer and then applying the thickening material on the surfaces of the resist patterns thereby thickening the resist patterns, and a step of patterning the underlayer by etching using the thickened resist patterns.例文帳に追加

下地層上にレジストパターンを形成後、該レジストパターン表面に前記厚肉化材料を塗布し該レジストパターンを厚肉化し厚肉化レジストパターンを製造する工程と、該厚肉化レジストパターンを用いてエッチングすることにより下地層をパターニングする工程とを含む半導体装置の製造方法。 - 特許庁