secondary electron yieldとは 意味・読み方・使い方

This substrate inspection method uses a first acceleration voltage in which the yield of secondary electrons emitted from the specified material inside an inspection object region S by irradiating electron beams is larger than 1, and a second acceleration voltage in which the yield of the secondary electrons is smaller than 1.例文帳に追加

本発明に係る基板検査方法では、電子ビームを照射することにより検査対象領域Ｓ内の所定材料から出射される二次電子の収率が１より大きくなる第１の加速電圧と、二次電子の収率が１より小さくなる第２の加速電圧とを用いる。 - 特許庁

To increase response speeds of an electric current signal, and improve yield of an ion electric current in a gas amplifying method ion electric current detection type SEM in which a secondary electron image can be obtained even in a low vacuum condition by utilizing an electron avalanche by a residual gas in a sample room.例文帳に追加

試料室内の残留ガスによる電子なだれを利用することで、低真空条件でも二次電子像を取得できるガス増幅式イオン電流検出型SEMにおいて、電流信号の応答速度の高速化およびイオン電流の収量の向上を図る。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope which subjects secondary particles to bandpass discrimination in a desired energy region, and detects them at a high yield.例文帳に追加

二次粒子を所望のエネルギー領域でバンドパス弁別し，なおかつ高収量で検出できる走査電子顕微鏡を提供することを課題とする。 - 特許庁

The resist composition uses a fullerene derivative having characteristics in which (1) it can be simply obtained in high yield, (2) it is soluble in a widely used resist solvent and the development liquid, and (3) it is easy to emit secondary electrons when irradiated with an electron beam, EUV light or an X-ray.例文帳に追加

本発明のレジスト組成物は、（１）簡便に高収率で得ることが出来る、（２）汎用レジスト溶剤および現像液に可溶である、（３）電子線、ＥＵＶ光あるいはＸ線の照射によって２次電子を放出しやすい、といった特性を持つフラーレン誘導体を用いることを特徴とする。 - 特許庁