silicon copperとは 意味・読み方・使い方

A silicon nitride film 23 is formed above the copper wiring 22 and the silicon oxide film containing carbon.例文帳に追加

銅配線２２および炭素含有シリコン酸化膜の上方にはシリコン窒化膜２３が形成されている。 - 特許庁

A copper interconnect line 107 is composed of a silicon low-concentration region 104 and a silicon solid solution 106 provided on the silicon low-concentration region 104.例文帳に追加

銅配線１０７を、シリコン低濃度領域１０４と、その上部に設けられたシリコン固溶層１０６からなる構成とする。 - 特許庁

Further, in order to prevent the reaction of the copper with a silicon component, a copper compound layer is further formed under the copper layer.例文帳に追加

さらに、銅がシリコン成分と反応することを防止するために、銅層の下部に銅化合物層をさらに形成した構成を有している。 - 特許庁

To obtain a copper wiring board, provided with a copper thin film wiring firmly stuck to the surface of a silicon oxide-based glass substrate, quartz substrate, or a thin silicon oxide film.例文帳に追加

酸化珪素質のガラス基板、石英基板あるいは酸化珪素薄膜の表面に強固に付着した銅薄膜配線を備えた銅配線基板を得る。 - 特許庁

METHOD OF RECYCLING SILICON SINGLE CRYSTAL WAFER WITH COPPER FILMS AND RECYCLED WAFER例文帳に追加

銅膜付着シリコン単結晶ウエーハの再生方法および再生ウエーハ - 特許庁

To provide a method of growing a silicon wire using copper as a catalyst.例文帳に追加

本発明は、銅を触媒としてシリコンワイヤを成長する方法に関する。 - 特許庁

To provide a polishing method in which copper contamination of a wafer can be suppressed which may occur during polishing the wafer having the exposed copper or copper alloy surface and silicon surface.例文帳に追加

銅又は銅合金面とシリコン面が露出したウェーハの研磨時に起こりうるウェーハの銅汚染を抑えることが可能な研磨方法を提供する。 - 特許庁

Thereafter, a thin copper film is formed on the silicon nitride layer by sputtering.例文帳に追加

しかる後この窒化珪素変質層の上に銅薄膜をスッパタリング成膜する。 - 特許庁