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solubility profileとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 溶解度プロフィル
「solubility profile」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 10件
To form a fine pattern having a favorable profile while preventing decrease in solubility of a chemically amplified resist film in immersion lithography.例文帳に追加
液浸リソグラフィにおいて、化学増幅型レジスト膜の溶解性の低下を防止して、良好な形状を有する微細パターン形成できるようにする。 - 特許庁
To form a fine pattern with a favorable profile by improving solubility (easy removing property) of a barrier film when the film is to be removed in immersion lithography.例文帳に追加
浸漬リソグラフィにおいて、バリア膜を除去する際の溶解性(除去容易性)を向上して、良好な形状を有する微細パターンを形成できるようにする。 - 特許庁
To form a fine pattern having a preferable profile by improving solubility (easy removing property) on removing a barrier film in liquid immersion lithography.例文帳に追加
液浸リソグラフィにおいて、バリア膜を除去する際の溶解性(除去容易性)を向上して、良好な形状を有する微細パターンを形成できるようにする。 - 特許庁
To provide a positive resist composition excellent in solubility in an organic solvent and capable of forming a resist pattern of good profile, and a resist pattern forming method.例文帳に追加
有機溶剤への溶解性に優れ、かつ良好な形状のレジストパターンを形成できるポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。 - 特許庁
Coarse profile of the insulator 6 is maintained even if desmear treatment is performed since resin solubility of the first layer 3 to the desmear treatment liquid is low.例文帳に追加
デスミア処理を施しても、第一層3がデスミア処理液に対する樹脂溶解性が低いことから、絶縁層6の粗面化形状は維持される。 - 特許庁
To provide a radiation-sensitive composition having high solubility in a safe solvent, high sensitivity and giving a favorable resist pattern profile, and to provide a method for manufacturing the composition and a method for forming a resist pattern using the radiation-sensitive composition.例文帳に追加
安全溶媒に対する溶解性が高く、高感度でかつ、良好なレジストパターン形状を与える感放射線性組成物、その製造方法および該感放射線性組成物を用いるレジストパターン形成方法を提供する。 - 特許庁
To provide a chemical amplification positive type resist composition having superior in sensitivity and resolution and rectangular profile and also having superior stability for PCD/PED, resistance to development defects, capability of coating (e.g. uniformity within a plane), and solubility in solvent.例文帳に追加
感度、解像力に優れ、矩形状の優れたパターンプロファイルを有し、しかもPCD、PEDの安定性、更には、現像欠陥、塗布性(面内均一性)、溶剤溶解性に優れた特性を有するポジ型化学増幅系レジスト組成物を提供すること。 - 特許庁
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「solubility profile」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 10件
To provide a radiation-sensitive resin composition for an ArF excimer laser which excels in basic physical properties as a resist, such as transparency, sensitivity, resolution, dry etching resistance and pattern profile, in particular, excels in solubility in a resist solvent, and reduces the roughness on a pattern side wall after development.例文帳に追加
透明性、感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れ、特に、レジスト溶剤への溶解性に優れ、現像後のパターン側壁のラフネスを低減するArFエキシマレーザー用感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
To solve a problem that a tablet is desired, which in a tablet coating when a conventional coating process is applied to the tablet, at a storing, a transportation and a handling process of the tablet, a coating film has moderate mechanical strengths, a visual appearance, and safety, and has minimal influence on tablet solubility/dispersibility profile.例文帳に追加
タブレツトコーテイングにおいて、慣用のコーテイングプロセスが適用され、そのタブレツトの貯蔵、輸送及び取り扱い過程で、コーテイングフイルムが適度の機械的強度、視覚的外観、安全性を持ち、且つ、タブレツト溶解性/分散性プロフイールへの最小の影響を有するタブレツトが望まれている。 - 特許庁
The controlled release formulation comprises a solubility-enhanced carvedilol free base or carvedilol salt, solvate or anhydrous form thereof, wherein the controlled release formulation following oral dosage exhibits a substantially biphasic plasma profile with a first plasma concentration peak level within 1-4 hours of ingestion and a second plasma concentration peak level within 5-10 hours after ingestion.例文帳に追加
溶解度を増強したカルベジロール遊離塩基またはカルベジロール塩、その溶媒和物または無水形態を含む制御放出性処方であって;経口投与後に、摂取の1〜4時間内に第1の血漿濃度ピークレベルを、摂取後の5〜10時間内に第2の血漿濃度ピークレベルを有する実質的に二相性血漿特性を示す制御放出性処方。 - 特許庁
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