temporal planeとは 意味・読み方・使い方

To provide a bipolar semiconductor device, adapted to reduce propagation of a basal plane dislocation to an epitaxial layer from an SiC single crystal substrate, thereby holding back temporal voltage deterioration in a forward direction, and also to provide a process for producing the bipolar semiconductor device.例文帳に追加

ＳｉＣ単結晶基板からエピタキシャル層へのベーサルプレーン転位の伝播を低減し、これにより経時での順方向電圧劣化を抑制したバイポーラ型半導体装置およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

To bring two satellites close to each other in the satellite direction viewed from the center of the earth when the satellites move in a vicinity of the intersection of the orbital plane while allowing the temporal change of the argument by perturbation in a plurality of non-geostationary satellites having mutually crossed orbits.例文帳に追加

互いに衛星軌道が交差した複数の非静止衛星について、摂動による近地点引数の時間的な変化を許しながら、２つの衛星が軌道面交線付近を飛行する際の地球中心から見た衛星方向を近づける。 - 特許庁

To provide an electrostatic chuck device capable of adjustment of a temporal change in temperature accompanied by plasma application, temperature adjustment over a wide range, and local temperature control of a platelike specimen by causing a local temperature distribution in a plane of the platelike specimen such as a silicon wafer when applied in a processing apparatus such as a plasma etching device.例文帳に追加

プラズマエッチング装置等の処理装置に適用した場合に、シリコンウエハ等の板状試料の面内に局所的な温度分布を生じさせることにより、プラズマ印加に伴う経時的な温度変化の調整や広い温度範囲での温度の調整が可能であり、板状試料の局所的な温度制御を行うことが可能な静電チャック装置を提供する。 - 特許庁