thermo-reflectanceとは 意味・読み方・使い方

METHOD FOR MEASURING THERMAL DIFFUSIVITY BY THERMO- REFLECTANCE METHOD例文帳に追加

サーモリフレクタンス法による熱拡散率測定方法 - 特許庁

To accurately measure the thermal diffusivity of a metallic thin film by the thermo-reflectance method.例文帳に追加

金属薄膜の熱拡散率をサーモリフレクタンス法により正確に測定する。 - 特許庁

The amplitude is measured, and a laser absorption quantity of the surface and a temperature coefficient of thermo-reflectance signal are determined.例文帳に追加

振幅を測定し表面のレーザに対する吸収量とサーモリフレクタンス信号の温度係数を求める。 - 特許庁

To measure the thermal capacity per unit area, thermal permeability and thermal diffusivity of a micro-area and a thin film on the surface of a sample with high spatial resolution by measuring a thermo-reflectance signal of the sample by use of a thermophysical property microscope.例文帳に追加

熱物性顕微鏡を用いて試料の熱反射信号を測定し、試料表面の微小領域及び薄膜の単位体積あたり熱容量、熱浸透率、熱拡散率を高い空間分解能により測定すること。 - 特許庁

A reference sample surface having a molybdenum film formed thereon is heated with a heating laser beam, a temperature measuring laser smaller in diameter than the heating laser is emitted to the heated position, and the amplitude of temperature change of the reference sample surface is measured based on a detected thermo-reflectance signal light.例文帳に追加

モリブデンを成膜した参照試料表面を加熱用レーザビームにより加熱し、この加熱位置に加熱用レーザ径より小さな測温用レーザを照射し、検出したサーモリフレクタンス信号光に基づいて参照試料表面の温度変化の振幅を測定する。 - 特許庁

The processing part 5 calculates a surface temperature of the thin metal film 71 based on the intensity of the reflected light 85 by a thermo-reflectance method, and receives separately an input about a film thickness of the thin metal film 71 from an input part 6 to calculate the thermal diffusivity of the thin metal film.例文帳に追加

処理部５は、サーモリフレクタンス法により反射光８５の強度から金属薄膜７１の表面温度を算出し、別途、入力部６から金属薄膜７１の膜厚の入力を受け、金属薄膜の熱拡散率を算出する。 - 特許庁

To provide a device that can measure the surface temperature of a minute region of a sample at high accuracy, high space resolution, and high speed by a thermo-reflectance method, can analyze the temperature dependence of the surface reflection even of a sample whose temperature dependence of the surface reflection is not known, and can instantly determine the temperature using the results.例文帳に追加

試料の極微少領域の表面温度をサーモリフレクタンス法により高精度・高空間分解能・高速度で測定することを可能とするとともに、表面反射率の温度依存性が知られていない試料についても、その表面反射率の温度依存性を解析し、その結果を用いて温度を即時に決定することを可能にする装置を提供する。 - 特許庁