vacuum pumping systemとは 意味・読み方・使い方

DEVICE FOR INTEGRATING VACUUM PUMPING SYSTEM IN CLEAN ROOM FALSE FLOOR IN SEMICONDUCTOR COMPONENT MANUFACTURING PLANT例文帳に追加

半導体構成部品製造工場のクリーンルーム疑似床に真空ポンプ系を組み込むための装置 - 特許庁

METHOD FOR REGENERATING GAS-STORAGE TYPE VACUUM PUMPING SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING SUBSTRATE-TREATING APPARATUS USING THE SAME例文帳に追加

気体溜め込み式排気系の再生方法及びこれを用いた基板処理装置の制御方法 - 特許庁

To improve efficiency of a vacuum pumping process in a flat-panel display producing system.例文帳に追加

フラットパネルディスプレイ生産システムにおける真空排気工程の効率化を図る。 - 特許庁

The dissolved organic or soluble material is eliminated using an air venting or pumping system such as a vacuum system.例文帳に追加

バキューム・システムなどのエアー・ベントまたはポンピング・システムを使用しながら、溶解した有機または可溶性の材料が除去される。 - 特許庁

In this film layer- forming process, the pressure in the reaction chamber is maintained in the range of from 1×102 to 2×104 Pa by means of a vacuum pumping system.例文帳に追加

この成膜工程では、真空排気装置により反応室の圧力を１×１０^2 〜２×１０^4 Ｐａの範囲内に維持する。 - 特許庁

To provide a differentially pumped vacuum system that has a plurality of pressure chambers and a pumping arrangement (100) for evacuating the pressure chambers.例文帳に追加

複数の圧力チェンバと、前記圧力チェンバを真空引きするポンピング装置(100)とを有する差圧的にポンピングされる真空システムを提供する。 - 特許庁

To solve a problem wherein it takes a long time to synchronize a transport time, a vacuum pumping time and a treatment time with one another, and throughput of the whole of a system is degraded.例文帳に追加

搬送時間、真空ポンピング時間及び処理時間を同期させるのに時間がかかり、システム全体のスループットを低下させる。 - 特許庁

The system for receiving the heat of the high heat-flux beam/energy recovery includes a differential pumping chamber 20 controlled in a vacuum atmosphere and an evaporation chamber 10.例文帳に追加

高熱流束ビーム受熱・エネルギー回収システムは真空雰囲気に管理された差動排気室２０と蒸発室１０を備える。 - 特許庁