エロ化の英語

ディシング、エロ−ジョンの抑制される絶縁層の上に金属層が設けられた基板の化学機械研磨装置の提供。例文帳に追加

To provide a chemical mechanical-polishing device of a substrate where a metal layer is provided on an insulation layer whose dicing and erosion have been suppressed. - 特許庁

スワラーを有する燃焼ノズルを用いたガスタービンの運転方法であって、燃焼時にカーボンを発生し易い不飽和炭化水素を含有する燃料を用い、かつ負荷変動を伴う運転を行った場合にも、動翼にエロ-ジョンを発生することがなく、長期的な安定運転が可能であるガスタービンの運転方法を提供する。例文帳に追加

To provide an operation method of gas turbine using a combustion nozzle having a swirler, which can perform a stable operation over a long period without causing erosion in a moving blade even when performing an operation accompanied by load fluctuation by use of a fuel containing unsaturated hydrocarbon easily generating carbon in combustion. - 特許庁

スワラーを有する燃焼ノズルを用いたガスタービンの運転方法であって、燃焼時にカーボンを発生し易い不飽和炭化水素を含有する燃料を用い、かつ負荷変動を伴う運転を行った場合にも、動翼にエロ-ジョンを発生することがなく、長期的な安定運転が可能であるガスタービンの運転方法を提供する。例文帳に追加

To provide an operating method of a gas turbine using the fuel including unsaturated hydrocarbon capable of easily generating carbon in combustion, free form the generation of erosion on a moving blade even in the operation in accompany with the load change, and providing the stable operation for a long period, with respect to the operating method of the gas turbine using a combustion nozzle with a swirler. - 特許庁