例文 (5件) |
"プロセス配管"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 5件
チャンバ3と、原料ガス8をガス供給部11に導入するプロセス配管5と、プロセス配管5の少なくとも一部を加熱するテープヒータ21とを備える。例文帳に追加
The CVD system includes a chamber 3, process piping 5 for introducing a raw material gas 8 into a gas supply part 11, and a tape heater 21 for heating at least a portion of the process piping 5. - 特許庁
配管の減肉状態になったことを報知することでプロセス配管の破損を予防することができる流量計を提供する。例文帳に追加
To provide a flowmeter for informing a user of a state where a thickness of piping is reduced, and preventing the process piping from being damaged. - 特許庁
自動サンプリング装置4は、再処理施設のプロセス配管中の溶液をサンプリングして気送子10内に自動封入するともに分析建屋にある分析装置6に接続されている。例文帳に追加
The device 4 samples solution in a process pipe of a reprocessing facility and seals it in the element 10 automatically and is connected to an analyzing device 6 in an analyzing building. - 特許庁
チャンバ内に配置されるプロセス配管に副生成物を付着しにくくすることにより、チャンバ内のパーティクル量を減少させて、製品の品質および歩留まりの向上を図ることができる、プラズマCVD装置を提供する。例文帳に追加
To provide a CVD system which makes it hard for a by-product to stick onto process piping arranged in a chamber, and thereby reduces the amount of particles in the chamber, and enhances the quality and yield of a product. - 特許庁
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