「偏揺れモーメント」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

リソグラフィ投影装置の精度を損う振動の主な原因である、マスクまたは基板テーブルを駆動する際の反力、特に偏揺れモーメントを容易に吸収できる平衡位置決めシステムを提供する。例文帳に追加

To provide a balanced positioning system capable of easily absorbing reaction forces during driving of a mask or substrate table as principal cause of vibrations impairing precision of a lithographic apparatus, especially, yawing moment. - 特許庁

リソグラフィ投影装置の精度を損う振動の主な原因である、マスクまたは基板テーブルを駆動する際の反力、特に偏揺れモーメントを容易に吸収できる平衡位置決めシステムを提供すること。例文帳に追加

To provide a balanced positioning system capable of absorbing a factor of vibration such as reactive force, especially yaw moment generated when a mask or substrate table is driven, as a main factor of degrading accuracy in a lithography projection system. - 特許庁

リソグラフィ投影装置の精度を損なう振動の主な原因である、マスクまたは基板テーブルを駆動する際の反力、特に偏揺れモーメントを容易に吸収できる平衡位置決めシステムを提供すること。例文帳に追加

To provide a balanced positioning system capable of absorbing a factor of vibration such as reactive force, especially yaw moment generated when a mask or substrate table is driven, as a main factor of degrading accuracy in a lithography projection apparatus. - 特許庁