「DLTS」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

In the evaluating method for evaluating the N-type silicon epitaxial wafer, at least a density of deep level due to metal impurities in the N-type silicon epitaxial wafer is measured by a DLTS method.例文帳に追加

また、Ｎ型シリコンエピタキシャルウエーハを評価する方法、製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

Then, platinum is diffused to a wafer that has been subjected to the RTA heat treatment, and platinum concentration is measured by the DLTS method, thus obtaining atomic void concentration V.例文帳に追加

次にこのＲＴＡ熱処理を行ったウェーハに白金を拡散しＤＬＴＳ法にて白金濃度を測定することにより原子空孔濃度Ｖを求める。 - 特許庁

The DLTS measurement is performed, by grounding the rear surface side of the substrate 22 and applying a reverse bias voltage which changes in pulse to the Schottky electrode 23, to detect a signal based on a transit phenomenon occurring in a depletion layer 24 within the substrate 22.例文帳に追加

ＤＬＴＳ測定は、基板２２の裏面側をグランドに接地して、ショットキー電極２３にパルス状に変化する逆バイアス電圧を印加し、基板２２中の空乏層２４内に生じる過渡現象に基づく信号を検出することにより行われる。 - 特許庁

In the evaluation by the DLTS method, variation in electrostatic capacity is measured while the temperature is varied and the density of deep level due to the metal impurities in which a peak temperature at which the variation in the electrostatic has a peak is 170K is evaluated.例文帳に追加

少なくとも、Ｎ型シリコンエピタキシャルウエーハ中の金属不純物による深い準位の濃度をＤＬＴＳ法によって評価するＮ型シリコンエピタキシャルウエーハの評価方法であって、前記ＤＬＴＳ法による評価において、温度を変化させながら静電容量の変化を測定して、該静電容量の変化がピークを示すピーク温度が１７０Ｋとなる金属不純物による深い準位の濃度を評価するＮ型シリコンエピタキシャルウエーハの評価方法。 - 特許庁