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composition patternの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 4879件
To provide a positive resist composition for forming a resist pattern of a good profile and a method of forming resist pattern.例文帳に追加
良好な形状のレジストパターンを形成できるポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法の提供。 - 特許庁
To provide a positive resist composition and a resist pattern forming method for forming a resist pattern with reduced line width roughness.例文帳に追加
LineWidthRoughnessの低減されたレジストパターンを形成できるポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。 - 特許庁
To provide a positive resist composition and a resist pattern forming method, forming a resist pattern of a good shape.例文帳に追加
良好な形状のレジストパターンを形成できるポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法の提供。 - 特許庁
BASE GENERATOR, PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, PATTERN FORMATION MATERIAL COMPRISING THE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, AND METHOD FOR PRODUCING RELIEF PATTERN AND ARTICLE USING THE COMPOSITION例文帳に追加
塩基発生剤、感光性樹脂組成物、当該感光性樹脂組成物からなるパターン形成用材料、当該感光性樹脂組成物を用いたレリーフパターンの製造方法並びに物品 - 特許庁
POSITIVE PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, PATTERN FORMING METHOD USING THE POSITIVE PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, AND COMPOUND USED FOR THE POSITIVE PHOTOSENSITIVE COMPOSITION例文帳に追加
ポジ型感光性組成物、該ポジ型感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該ポジ型感光性組成物に用いられる化合物 - 特許庁
POSITIVE-WORKING PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, METHOD FOR PATTERN FORMATION USING COMPOSITION, AND RESIN FOR USE IN COMPOSITION例文帳に追加
ポジ型感光性組成物、該ポジ型感光性組成物を用いたパターン形成方法、及び、該ポジ型感光性組成物に用いられる樹脂 - 特許庁
CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST COMPOSITION, AND PATTERN-FORMING METHOD USING THE SAME例文帳に追加
化学増幅ポジ型レジスト組成物、及びそれを用いたパターン形成方法 - 特許庁
FILM-FORMING COMPOSITION, AND PATTERN FORMING METHOD AND THREE-DIMENSIONAL MOLD USING THE SAME例文帳に追加
膜形成組成物、これを用いたパターン形成方法及び三次元モールド - 特許庁
RESIST PROTECTIVE FILM COMPOSITION FOR IMMERSION EXPOSURE AND METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN例文帳に追加
液浸露光用レジスト保護膜用組成物およびレジストパターンの形成方法 - 特許庁
POSITIVE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, RESIST PATTERN MANUFACTURING METHOD, AND ELECTRONIC COMPONENT例文帳に追加
ポジ型感光性樹脂組成物、レジストパターンの製造方法及び電子部品 - 特許庁
POSITIVE THERMOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND RESIST PATTERN FORMING METHOD BY USING SAME例文帳に追加
ポジ型感熱性樹脂組成物及びそれを用いたレジストパターン形成方法 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, METHOD FOR PRODUCING PATTERN AND ELECTRONIC PARTS USING THE SAME例文帳に追加
感光性樹脂組成物、パターン製造法及びこれを用いた電子部品 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, METHOD FOR PRODUCING PATTERN USING THE SAME AND ELECTRONIC PARTS例文帳に追加
感光性樹脂組成物、これを用いたパターン製造法及び電子部品 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, CURED RESIN PATTERN USING THE SAME AND DISPLAY ELEMENT例文帳に追加
感光性樹脂組成物、それを用いた硬化樹脂パターン及び表示素子 - 特許庁
POSITIVE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, METHOD FOR PRODUCING RESIST PATTERN AND ELECTRONIC DEVICE例文帳に追加
ポジ型感光性樹脂組成物、レジストパターンの製造方法及び電子デバイス - 特許庁
PHOTOSETTING-THERMOSETTING RESIN COMPOSITION AND RESINOUS INSULATION PATTERN FORMING METHOD例文帳に追加
光硬化性・熱硬化性樹脂組成物及び樹脂絶縁パターン形成方法 - 特許庁
RESIST COMPOSITION, RESIST PATTERN FORMING METHOD, NOVEL COMPOUND AND ACID GENERATOR例文帳に追加
レジスト組成物、レジストパターン形成方法、新規な化合物及び酸発生剤 - 特許庁
POSITIVE RESIST COMPOSITION, METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN, POLYMER COMPOUND, AND COMPOUND例文帳に追加
ポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法、高分子化合物、化合物 - 特許庁
RESIST COMPOSITION, METHOD OF FORMING RESIST PATTERN, NOVEL COMPOUND, AND ACID GENERATOR例文帳に追加
レジスト組成物、レジストパターン形成方法、新規な化合物、および酸発生剤 - 特許庁
PHOTOACTIVE COMPOUND, PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND METHOD FOR FORMING PATTERN例文帳に追加
光活性化合物及び感光性樹脂組成物並びにパターン形成方法 - 特許庁
RESIST COMPOSITION, METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN, NOVEL COMPOUND AND ACID GENERATOR例文帳に追加
レジスト組成物、レジストパターン形成方法、新規な化合物および酸発生剤 - 特許庁
POSITIVE RESIST COMPOSITION, RESIST PATTERN FORMING METHOD, AND POLYMER COMPOUND例文帳に追加
ポジ型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法、並びに高分子化合物 - 特許庁
RESIST COMPOSITION, RESIST PATTERN FORMATION METHOD, NEW COMPOUND AND ACID GENERATOR例文帳に追加
レジスト組成物、レジストパターン形成方法、新規な化合物及び酸発生剤 - 特許庁
To provide a positive resist composition having high resolution and giving a resist pattern of good rectangularity and a pattern forming method using the positive resist composition.例文帳に追加
高解像性で、矩形性の良好なレジストパターンが得られるポジ型レジスト組成物、および該ポジ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a positive resist composition capable of improving the standing wave of a side wall of a resist pattern and a pattern forming method using the positive resist composition.例文帳に追加
レジストパターン側壁のスタンディングウェーブを改善できるポジ型レジスト組成物、および該ポジ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法を提供すること。 - 特許庁
To provide an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition excellent in resolution of an isolated pattern and to provide a pattern forming method using the composition.例文帳に追加
孤立パターンの解像性に優れた感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁
RESIST COMPOSITION FOR NEGATIVE-TONE DEVELOPMENT AND PATTERN FORMING METHOD USING THE SAME例文帳に追加
ネガ型現像用レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法 - 特許庁
POLYMER, RADIATION SENSITIVE RESIN COMPOSITION AND METHOD FOR RESIST PATTERN FORMATION例文帳に追加
重合体、感放射線性樹脂組成物およびレジストパターン形成方法 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, PHOTOSENSITIVE FILM, AND PERMANENT PATTERN FORMING METHOD例文帳に追加
感光性組成物及び感光性フィルム、並びに、永久パターン形成方法 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, METHOD FOR PRODUCING PATTERN AND ELECTRONIC PART USING THE SAME例文帳に追加
感光性樹脂組成物、パターンの製造法及びこれを用いた電子部品 - 特許庁
COMPOSITION FOR FORMING RESIST LOWER LAYER FILM, RESIST LOWER FILM AND METHOD FOR FORMING PATTERN例文帳に追加
レジスト下層膜形成組成物、レジスト下層膜およびパターン形成方法 - 特許庁
HEAT-RESISTANT PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, METHOD OF MANUFACTURING RELIEF PATTERN, AND ELECTRONIC PARTS例文帳に追加
耐熱感光性樹脂組成物、レリーフパターンの製造方法及び電子部品 - 特許庁
POSITIVE RESIST COMPOSITION AND PATTERN FORMING METHOD USING SAME例文帳に追加
ポジ型レジスト組成物及び該ポジ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法 - 特許庁
To provide a resist composition which suppresses the dimensional changes in a resist pattern due to the effect of change in passage of time, and to provide a resist pattern forming method using the resist composition.例文帳に追加
経時の影響によるレジストパターンの寸法変動が抑制されたレジスト組成物、および該レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法の提供。 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE POLYMER COMPOSITION, METHOD FOR PRODUCING PATTERN AND ELECTRONIC PARTS例文帳に追加
感光性重合体組成物及びパターンの製造方法並びに電子部品 - 特許庁
POSITIVE TYPE ELECTRON BEAM RESIST COMPOSITION AND PRODUCTION OF RESIST PATTERN USING SAME例文帳に追加
ポジ型電子線レジスト組成物およびこれを用いたレジストパターンの製造法 - 特許庁
POSITIVE PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, PATTERN FORMING METHOD AND THIN FILM TRANSISTOR ARRAY SUBSTRATE例文帳に追加
ポジ型感光性組成物、パターン形成方法、及び薄膜トランジスタアレイ基板 - 特許庁
PATTERN FORMING METHOD AND PHOTO-SEDIMENTATION TYPE COMPOSITION USED FOR THE METHOD例文帳に追加
パターンの形成方法、及び該方法に用いられるフォト沈降型組成物 - 特許庁
RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, METHOD FOR FORMING PATTERN, POLYMER, AND COMPOUND例文帳に追加
感放射線性樹脂組成物、パターン形成方法、重合体及び化合物 - 特許庁
POLYMER, RESIST COMPOSITION AND METHOD FOR PRODUCING SUBSTRATE FORMED WITH PATTERN例文帳に追加
重合体、レジスト組成物及びパターンが形成された基板の製造方法 - 特許庁
POSITIVE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, MANUFACTURING METHOD OF RESIST PATTERN, AND ELECTRONIC DEVICE例文帳に追加
ポジ型感光性樹脂組成物、レジストパターンの製造方法及び電子デバイス - 特許庁
POSITIVE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, METHOD OF MANUFACTURING RELIEF PATTERN AND ELECTRONIC PARTS例文帳に追加
ポジ型感光性樹脂組成物、レリーフパターンの製造方法及び電子部品 - 特許庁
RESIST COMPOSITION FOR LIQUID IMMERSION LITHOGRAPHY, RESIST PATTERN FORMING METHOD, AND FLUORINE-CONTAINING RESIN例文帳に追加
液浸露光用レジスト組成物、レジストパターン形成方法および含フッ素樹脂 - 特許庁
CHEMICAL AMPLIFICATION TYPE POSITIVE TYPE RESIST COMPOSITION FOR THERMAL FLOW AND PATTERN FORMING METHOD例文帳に追加
サーマルフロー用化学増幅型ポジレジスト組成物及びパターン形成方法 - 特許庁
COMPOSITION FOR FORMING PHOTOSENSITIVE RESIST UNDERLAYER FILM AND METHOD OF FORMING RESIST PATTERN例文帳に追加
感光性レジスト下層膜形成組成物及びレジストパターンの形成方法 - 特許庁
POSITIVE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, METHOD OF FORMING PATTERN AND SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
ポジティブ型感光性樹脂組成物、パターン形成方法および半導体素子 - 特許庁
COMPOSITION FOR FORMING POROUS FILM, METHOD FOR FORMING PATTERN AND POROUS SACRIFICE FILM例文帳に追加
多孔質膜形成用組成物、パターン形成方法、及び多孔質犠性膜 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, PATTERN FORMING MATERIAL, AND PHOTOSENSITIVE FILM, PATTERN FORMING METHOD, PATTERNED FILM, ANTIREFLECTION FILM, INSULATING FILM, OPTICAL DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE USING THE COMPOSITION例文帳に追加
感光性組成物、パターン形成材料、並びに、これを用いた感光性膜、パターン形成方法、パターン膜、反射防止膜、絶縁膜、光学デバイス及び電子デバイス - 特許庁
UPPER LAYER FILM FORMING COMPOSITION FOR LIQUID IMMERSION AND METHOD OF FORMING PHOTORESIST PATTERN例文帳に追加
液浸用上層膜形成組成物およびフォトレジストパターン形成方法 - 特許庁
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