pstを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 57件
The device is constituted so that long mirrors 75, 77 are fixed to a part which does not move, the weight of a movable part PST of a stage device is reduced and a relative position of read of an actuator which actuates a stage and a laser interferometer does not change due to stage movement.例文帳に追加
長尺鏡７５，７７を可動しない部分に固定し、ステージ装置の可動部ＰＳＴの軽量化を実現するとともに、ステージを駆動する駆動部（アクチュエータ）とレーザ干渉計の読み取りの相対位置がステージ移動によって変わらない構成とする。 - 特許庁
The general controller 20 generates a command value for controlling power PB based on the power PN of the natural energy power generator 80, the power PS of a power system 90, and the output target value PST of a power system 1, and distributes the command value PBGRx to each group controller 30.例文帳に追加
統括コントローラ２０は、自然エネルギ発電装置８０の電力ＰＮ、電力系統９０の電力ＰＳ、および電力システム１の出力目標値ＰＳＴに基づいて電力ＰＢを制御する指令値を生成し、その指令値ＰＢＧＲｘを各グループコントローラ３０に配分する。 - 特許庁
The exposure device EX for irradiating an exposure light EL on a substrate P through the liquid LQ for exposing the substrate P has a substrate holder PH that holds the substrate P; a substrate stage PST that is movable with a substrate P held on the substrate holder PH; and a temperature control system 60 that regulates the temperature of the substrate holder PH.例文帳に追加
露光装置ＥＸは、液体ＬＱを介して基板Ｐ上に露光光ＥＬを照射して、基板Ｐを露光するものであって、基板Ｐを保持する基板ホルダＰＨを有し、この基板ホルダＰＨに基板Ｐを保持して移動可能な基板ステージＰＳＴと、基板ホルダＰＨの温度調整を行う温調システム６０とを備えている。 - 特許庁
A substrate P is held by a substrate holder PH on a substrate stage PST, an immersed region AR2 is formed on the image plane side of the projection optical system PL by using a liquid 1 supplied from a liquid supplying mechanism 10, and the substrate P is exposed by exposure light EL via the projection optical system PL and the immersed region AR2.例文帳に追加
基板ステージＰＳＴ上の基板ホルダＰＨに基板Ｐを保持し、液体供給機構１０から供給される液体１を用いて投影光学系ＰＬの像面側に液浸領域ＡＲ２を形成し、露光光ＥＬで投影光学系ＰＬと液浸領域ＡＲ２とを介して基板Ｐを露光する。 - 特許庁
This projection aligner EX has a substrate stage PST that moves the substrate P in the optical-axis direction of the projection optical system PL during exposure, and a controlling device CONT that sets at least one of a position in a Z direction on the substrate P and the travel amount for moving the position during exposure for each exposure of the plurality of patterns PA.例文帳に追加
露光装置ＥＸは、露光中に投影光学系ＰＬの光軸方向に基板Ｐを移動させる基板ステージＰＳＴと、複数のパターンＰＡのそれぞれの露光毎に、基板ＰのＺ方向の位置と、この位置を露光中に移動させる移動量との少なくとも一方を設定する制御装置ＣＯＮＴとを備えている。 - 特許庁
In the case where a speed reduction command is detected, a line pressure correction value dPSt computed by a line pressure correction value computing unit 69 is added to the line pressure command value PSt computed by the target secondary hydraulic computing unit 63, and that value is set as a value to be output to the secondary hydraulic control unit 65 in a step 210.例文帳に追加
一方、減速指令がある場合には、ステップ２１０にて、目標セカンダリ油圧演算部６３にて算出されたライン圧指令値ＰＳｔに、ライン圧補正演算部６９にて算出されたライン圧補正値ｄＰＳｔを加算し、その値を、セカンダリ油圧制御器６５に出力する値として設定する。 - 特許庁
An electrolyte solution for a lithium ion capacitor according to the present invention includes: a solvent including one or more kinds of compounds selected from one or more cyclic carbonate compounds; and an additive including one or more kinds of materials selected from the group consisting of catechol carbonate (CC), fluoro ethylene carbonate (FEC), propane sultone (PS), and propene sultone (PST).例文帳に追加
本発明によるリチウムイオンキャパシタ用電解液は、１種以上の環状カーボネート化合物から選ばれる１種以上の化合物を含む溶媒と、カテコールカーボネート（Ｃａｔｅｃｈｏｌ Ｃａｒｂｏｎａｔｅ；ＣＣ）、フルオロエチレンカーボネート（Ｆｌｕｏｒｏ Ｅｔｈｙｌｅｎｅ Ｃａｒｂｏｎａｔｅ；ＦＥＣ）、プロパンスルトン（Ｐｒｏｐａｎｅ Ｓｕｌｔｏｎ；ＰＳ）及びプロペンスルトン（Ｐｒｏｐｅｎｅ Ｓｕｌｔｏｎ；ＰＳＴ）からなる群から選ばれる１種以上の物質を含む添加剤と、を含むことができる。 - 特許庁
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