| 例文 |
sticklessを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 3件
The chamber 23 has a stickless fog generator unit 26 on its side for feeding a stickless fog F.例文帳に追加
チャンバ23の側部に、エッチング室22内にスティックレスフォグFを供給するスティックレスフォグ発生ユニット26を設ける。 - 特許庁
A stickless fog supply unit 24 for supplying a stickless fog G into the chamber 22 is provided at the side of the chamber 23, the fog F introduced into the fog inlet 33 via a fog supply tube 43 is supplied toward the treating surface of the wafer 1 from a nozzle 35 via a fog introducing tube 34.例文帳に追加
チャンバ23の側部に、処理室22内にスティックレスフォグFを供給するスティックレスフォグ供給ユニット24を設け、フォグ供給管43を通してフォグ導入口部33に導入されたスティックレスフォグFを、フォグ導入管34を介してノズル部35から半導体ウエハ1の処理面に向けて供給する。 - 特許庁
To provide a simple structure free from abrasion, capable of ensuring the correct and effective stickless elevating motion of a platform even in heavy load, by improving a device for compensating a threaded spindle stopper of a spindle driving device 1 for preventing the locking of the spindle driving device in elevating the platform 2.例文帳に追加
プラットホーム2の昇降時に、スピンドル駆動装置のロックを避けるために、スピンドル駆動装置1のねじ山付きスピンドルストッパを補償する装置を改良して、重い荷重の負荷時でも、プラットホームの正確で効果的で、固着しない昇降運動が保証され、摩耗のない簡単な構造のものを提供する。 - 特許庁
| 例文 |
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