POLISHING SOLUTION AND POLISHING METHOD OF InP WAFER InPウエハの研磨液とInPウエハの研磨方法 - 特許庁
InP SEMICONDUCTOR LASER ELEMENT AND ITS MANUFACTURE InP系半導体レ—ザ素子及びその作製方法 - 特許庁
InP-BASED SEMICONDUCTOR DEVICE USING GaAs SUBSTRATE GaAs基板を用いたInP系半導体装置 - 特許庁
In the photodetector, an n-InP layer 34, an i-InGaAs layer 36, and a p-InP layer 38 are continuously formed on an n-InP substrate 32 by the MOCVD method, etc. n−InP基板32上に、MOCVD法等によりn−InP層34,i−InGaAs層36,p−InP層38を連続成長する。 - 特許庁
A p-InP clad layer and high dope GaInAs contact layer are successively laminated on the p-InP buried layer and the carrier block layers applied to both sides of the p-InP buried layer. p−InP埋め込み層及びその両側のキャリアブロック層上には、p−InPクラッド層及び高ドープGaInAsコンタクト層が、順次、積層されている。 - 特許庁
To allow an InP substrate to be reused by forming a device layer subjected to pseudo-lattice matching or lattice matching on the InP substrate and peeling the InP substrate from the device layer. InP基板に擬似格子整合もしくは格子整合させたデバイス層を形成し、そのデバイス層よりInP基板を剥離して、InP基板の再利用を可能とする。 - 特許庁
DRY ETCHING METHOD OF InP AND METHOD OF FORMING VIA HOLE InPのドライエッチング方法およびビアホール形成方法 - 特許庁
Carrier concentration C2 of the second InP layer 15 is higher than the carrier concentration C1 of the first InP layer 13. 第2のInP層15のキャリア濃度C2は第1のInP層13のキャリア濃度C1より大きい。 - 特許庁
MANUFACTURING InP DISTRIBUTED FEEDBACK TYPE SEMICONDUCTOR LASER InP系分布帰還型半導体レーザの製造方法 - 特許庁
A semiconductor crystal comprising an n-type InP buffer layer 2, an undoped GaInAs light-absorbing layer 3, an undoped InP diffusion buffer layer 4 and a p-type InP window layer 5 is successively grown on an n-type InP substrate 1. n型InP基板1上に、n型InPバッファ層2、アンドープGaInAs光吸収層3、アンドープInP拡散バッファ層4、およびp型InP窓層5からなる半導体結晶を順に成長させた。 - 特許庁
The variable wavelength element section has an n-InP lower clad layer 18, a variable wavelength layer 20, an i-InP layer 22, an active layer 24, a p-InP spacer layer 26, a p-diffraction grating 28, and a p-InP buried layer 30 on the substrate. 波長可変素子部は、基板上に、n−InP下部クラッド層18、波長可変層20、i−InP層22、活性層24、p−InPスペーサ層26、p−回折格子28、及びp−InP埋め込み層30を備える。 - 特許庁
A laminate structure of InP buffer layer 14, an active layer 16, a InP spacer layer 18 in the thickness of 200 nm, a GaInAs diffraction grating 20, and a InP clad layer 22 embedding the diffraction grating is provided on a InP substrate 12. InP基板12上に、InPバッファ層14、活性層16、膜厚200nmのInPスペーサ層18、のGaInAs回折格子20、及び回折格子を埋め込んだInPクラッド層22の積層構造を備える。 - 特許庁
In the process (3), the active layer or the like is formed on an InP substrate. (3)InP基板上に活性層等を形成する。 - 特許庁
The upper surfaces of the n-type InP layer 13 and the p-type InP region 14 are covered with a surface protection film 15. n型InP層13及びp型InP領域14の上面は表面保護膜15により覆われている。 - 特許庁
The ridge protective layer 10 is composed of a high resistance semiconductor material of nondoped InP or Fe doped InP. リッジ保護層10は、ノンドープInPあるいはFeドープInPなどの高抵抗半導体材料で構成されている。 - 特許庁
The mentioned structure can suppress diffusion of Zn from the p-type InP substrate 1 to the InGaAsP MQW active layer 6. 上記構造とすることにより、p型InP基板1からInGaAsP MQW活性層6へのZnの拡散を抑制することができる。 - 特許庁
In the process (4), the active layer on the InP substrate is subjected to mesa etching. (4)InP基板上の活性層をメサエッチングする。 - 特許庁
The buried region 9 contains an iron-doped InP layer 11. 埋め込み領域9は鉄ドープInP層11を含む。 - 特許庁
A phosphor supply substance 13 has an InP surface 13a. リン供給体13はInP表面13aを有する。 - 特許庁
A p-type InP impurity diffusion region which constitutes a light receiver 9 is provided in part of the i-type InP window layer. i型InP窓層の一部に、受光部9となるp型InP不純物拡散領域が設けられている。 - 特許庁
Using the mask 20a, an InP layer 24 is formed on the InP substrate 10a so as to embed the semiconductor mesa 22. マスク20aを用いて、半導体メサ22を埋め込むように、InP基板10a上にInP層24を形成する。 - 特許庁
A ridge type InP semiconductor laser element 12 is formed on an n-type InP substrate 1. 本半導体レーザ素子12は、n−InP基板1上に形成されたInP系リッジ型半導体レーザ素子である。 - 特許庁
In order to resolve the tradeoff, a semiconductor DBR mirror film for which the InP layer 102a and an InGaAlAs-MQW layer 102b are alternately laminated is applied. 上記のトレードオフ解消のためにInP層102aとInGaAlAs-MQW層102bが交互に積層された半導体DBR反射鏡膜を適用する。 - 特許庁
An avalanche multiplication layer 3, a p-type InP electric field relaxation layer 4, a light absorption layer 5 and an undoped InP window layer 6 are laminated on the principal plane of an n-type InP substrate 1 in that order. n型InP基板1の主面上に、アバランシェ増倍層3、p型InP電界緩和層4、光吸収層5、及びアンドープInP窓層6が順に積層されている。 - 特許庁
By forming an InP metamorphic buffer layer 2 having a thickness of 4 μm or above and a surface defect density of 10^8/cm^2 or less on the GaAs substrate 1, the InP-based semiconductor element 11 having a superior property and a high reliability can be formed on the GaAs substrate. GaAs基板1上にInPメタモルフィックバッファ層2を、厚さ4μm以上として、その表面の欠陥密度を10^8/cm^2以下にすることによって、GaAs基板上に、すぐれた特性と信頼性を有する、InP系半導体素子11を構成する - 特許庁
A pin photodiode is formed by laminating an n-InP layer 22, an I-InGaAs layer 24, and an n-InP layer 26 on an n-InP substrate 20 and forming p-type diffusion areas 28 by diffusing Zn in the n-InP layer 26. n−InP基板20上に、n−InP層22,i−InGaAs層24,n−InP層26が積層され、n−InP層26内にZnが拡散されてp型拡散領域28が形成され、pinフォトダイオードが作られている。 - 特許庁
An n-InP buffer layer 3, an n^--InGaAs light absorbing layer 4, an n-InGaAsP intermediate layer 5, an n^+-InP avalanche multiplication layer 6, and an n^--InP window layer 7 are formed sequentially on an n^+-InP substrate 2 by epitaxial growth. n^+−InP基板2上に、n−InPバッファ層3、n^−−InGaAs光吸収層4、n−InGaAsP中間層5、n^+−InPアバランシェ増倍層6、n^−−InP窓層7をエピタキシャル成長法により、順次積層する。 - 特許庁
An n-InP buffer layer 2, a GRIN-SCH-MQW active layer 3 and a p-InP spacer layer 4 are formed sequentially on an n-InP substrate 1 wherein the upper region of the n-InP buffer layer 2, the GRIN-SCH-MQW active layer 3 and the p-InP spacer layer 4 have a mesa stripe structure. n−InP基板1上に順次n−InPバッファ層2、GRIN−SCH−MQW活性層3、p−InPスペーサ層4が積層され、n−InPバッファ層2の上部領域、GRIN−SCH−MQW活性層3およびp−InPスペーサ層4はメサストライプ状の構造となっている。 - 特許庁
InP-BASED LIGHT RECEIVING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME InP系受光素子とInP系受光素子の製造方法 - 特許庁
In a semiconductor device, an N-InP buffer layer 2 0.5 to 2 μm in thickness is grown on an N-InP substrate 1 through a MOVPE method. n−InP基板1上に,n−InPバッファ層2(厚さ0.5〜2μm)をMOVPE法によって成長させる。 - 特許庁
The clad layer 8m is constituted of a p-type InP, while the part 80e is constituted of an n-type InP. 第2クラッド層8mがp型InPで構成されるのに対し、半導体埋込部80eはn型InPで構成される。 - 特許庁
Band gap wavelength of the n-type InP layer 12a is larger than wavelength λof incident light, and the n-type InP layer 12a does not absorb the incident light. n型InP層12aは、バンドギャップ波長が入射光の波長λより大きく、入射光を吸収しない。 - 特許庁
The n-type InP layer 14 and the p-type InP layer 13 are electrically connected with each other by means of a metal electrode 23 (third electrode). n型InP層14とp型InP層13を金属電極23(第3の電極)が電気的に接続している。 - 特許庁
An n-type InP cladding layer 16 (a third semiconductor layer) is formed on the p-type InP cladding layer 12 and the active layer 15. p型InPクラッド層12および活性層15上にn型InPクラッド層16(第3の半導体層)を形成する。 - 特許庁
A reference voltage generating circuit 83 generates a reference voltage INP from the output voltage Vc of the voltage follower that comprises the operational amplifier 12. 基準電圧生成回路83は、オペアンプ12から成るボルテージフォロアの出力電圧Vcから基準電圧INPを生成する。 - 特許庁
More specifically, a crucible 1 containing the InP crystalline body having the composition described above as the raw material is installed in heating furnaces 6, 8 where the raw material heated to above its melting point and is melted and, thereafter, the raw material melt 2 is gradually cooled, by which the InP single crystal is grown. 具体的には、上記組成のInP結晶体を原料として収納したルツボ(1)を加熱炉(6,8)内に設置して、融点以上に加熱して原料を溶融させた後、その原料融液(2)を徐々に冷却してInP単結晶を成長させるようにした。 - 特許庁
The stimulation element section 14 has a common n-InP lower clad layer, an active layer 32 in common with a variable wavelength layer, and a common i-InP layer, and has a p-InP spacer layer 34, a p-diffraction grating 36, and a p-InP buried layer 38 on it. 励起素子部14は、共通のn−InP下部クラッド層、波長可変層と共通の活性層32、及び共通のi−InP層を備え、その上にp−InPスペーサ層34、p−回折格子36、p−InP埋め込み層38を備える。 - 特許庁
Then, after a p-type InP block layer 7 and an n-type InP block layer 8 are formed on both the sides of a ridge 6, the n-type InP block layer 8 formed on the (111) B surface of the p-type InP block layer 7 is removed by a second dry etching process. 次に、リッジ部6の両側に、p型InPブロック層7およびn型InPブロック層8を形成した後、p型InPブロック層7の(111)B面の上に形成されたn型InPブロック層8を第2のドライエッチングによって除去する。 - 特許庁
A p-type InP buffer layer 2, an active layer 3, and an n-type InP clad layer 4 formed on a p-type InP substrate 1 are processed through a first dry etching process for the formation of a ridge 6. p型InP基板1の上に形成された、p型InPバッファ層2、活性層3およびn型InPクラッド層4を第1のドライエッチングにより加工して、リッジ部6を形成する。 - 特許庁
The light receiving element is made by forming an n-InP buffer layer 102, an n-InGaAs optical absorption layer 103, and an n-InP window layer 104 in sequence on an InP substrate 101. 本発明に係る受光素子は、InP基板101上に、n−InPバッファ層102、n−InGaAs光吸収層103、n−InP窓層104が順次形成されている。 - 特許庁
To provide a method of producing an InP single crystal substrate by which the InP single crystal substrate completely free from dish-draped corrosion holes can be produced without lowering productivity of the InP single crystal. InP単結晶の生産性を低下させることなく、皿状腐食孔を完全に無くしたInP単結晶基板を製造することができるInP単結晶基板の製造方法を提供する。 - 特許庁
An n-type InP clad layer 2, a GaInAsP active layer 3, a p-type InP clad layer 4, and a p-type GaInAsP cap layer 11 are grown on an n-type InP substrate 1 doped with sulfur in turn. イオウがドープされたn型InP基板1の上に、順次、n型InPクラッド層2、GaInAsP活性層3、p型InPクラッド層4、p型GaInAsPキャップ層11を成長させる。 - 特許庁
The non-doped InP layer 24 depletes this region, and moderates the electric field between the n-InP hole block layer 23 and the p-InP upper clad layer 25 in the EA optical modulator region 10B. ノンドープInP層24は、この領域を空乏化させ、EA光変調器領域10Bにおける、n−InPホールブロック層23とp−InP上部クラッド層25との間の電界を緩和する。 - 特許庁
The metamorphic buffer layer 12 is an As-doped InP layer 12A formed by crystal growing the InP layer (not shown) on the substrate 11 and doping the As all over the InP layer. メタモルフィックバッファ層12は基板11上にInP層(図示せず)を結晶成長させると共にそのInP層の全体にAsをドープすることにより形成されたAsドープInP層12Aである。 - 特許庁
To planarize a step formed accompanied by the growth of an InP layer. InP層の成長に伴い形成された段差を平坦化する。 - 特許庁
A semiconductor laser section I, an optical modulator section II, and an isolation section III that separates the semiconductor laser section I from the optical modular section II are provided on a p-type InP substrate 2. p型InP基板2の上に、半導体レーザ部I、光変調器部II、およびこれらを分離するアイソレーション部IIIが設けられている。 - 特許庁
First, an active layer 3 is formed on an n-type InP substrate 1. まず、n型InP基板1上に、活性層3を形成する。 - 特許庁
A p-side electrode 36 is provided on the p-InP cap layer and an n side electrode 38 is provided on the back surface of the n-InP substrate. p−InPキャップ層上にはp側電極36が、n−InP基板の裏面にはn側電極38が設けてある。 - 特許庁
A substrate produced by sequentially growing an undoped InGaAs layer, an n-type InP layer on an n-type InP substrate by MOVPE is employed. n型InP基板上に、順次、アンドープInGaAs層,n型InP層をMOVPE法により成長した基板を用いた。 - 特許庁
The active region 17 is formed on the InP substrate 21. 活性領域17は、InP基板21上に設けられている。 - 特許庁