To provide a semiconductor laser having less roughness on an active layer part by forming a p-InGaAsP layer sandwiched between p-InP layers so as to function as a current constriction layer, enabling the p-InGaAsP layer which requires a thin layer structure to be used as a current constriction layer. p-InP層に挟まれたp-InGaAsP層を電流狭窄層として機能するように形成し、薄い層構造で済むこのp-InGaAsP層を電流狭窄層として用いることにより活性層上部での凹凸を小さくすることのできる半導体レーザを提供する。 - 特許庁
An n-type multilayer reflection layer 12 (first reflection layer), an absorption layer 13, a p-type phase adjustment layer 14, and an anode layer 15 (second reflection layer) are formed on the lower surface of the n-type InP substrate 11 in this order from the side of the n-type InP substrate 11. n型InP基板11の下面に、n型InP基板11側から順番に、n型多層反射層12(第1の反射層)、吸収層13、p型位相調整層14およびアノード電極15(第2の反射層)が形成されている。 - 特許庁
In the laminated structure 30, the crystallizability of the InP layer 34 is made better than the InP layer on the conventional GaAs substrate, and a surface shape is made better than the InP layer by interposing the layer 34 having the film thickness having a ratio of 0.35 to the critical film thickness between the substrate 32 and the layer 34 as a buffer layer as the example. 本化合物半導体積層構造30は、本実施形態例では、臨界膜厚に対する比率が0.35の膜厚を有するGaAs_0.95P_0.05層34をGaAs基板32とInP層34との間にバッファ層として介在させることにより、従来のGaAs基板上のInP層に比べて、InP層34の結晶性を向上させ、表面形状を良好にしている。 - 特許庁
Semi-insulating Fe doped InP is embedded in the reflecting mirror, and contact parts with the side parts of the reflecting mirror become conduction parts. 反射鏡は半絶縁性のFeドープInPで埋め込まれているが、反射鏡側面部との接触部分が導電部となる。 - 特許庁
To provide a dry etching method which quickly enables deep cutting into a substrate of an InP compound semiconductor, and a device. InP系化合物半導体の基板に対して深堀加工を迅速に行うことができるドライエッチング方法及び装置を提供する。 - 特許庁
On an InP substrate 11, a semiconductor laminate part 10 is grown which has an active layer 14a and a surface layer (cap layer) 17a. InP基板11上に、活性層14a及び表層(キャップ層)17aを有する半導体積層部10を成長させる。 - 特許庁
The p-AlInAs layer, p-InP layer, and p-GaInAs layer are formed in striped ridges of a 10 μm width. p−AlInAs層、p−InP層、及びp−GaInAs層は、幅10μmのストライプ状リッジとして形成されている。 - 特許庁
To provide a ridge type InP semiconductor laser element having a current constricting structure composed of Al oxide layers and a superior laser characteristic. Al酸化層による電流狭窄構造を有し、レーザ特性が良好なリッジ型InP系半導体レーザ素子を提供する。 - 特許庁
The temperature of the substrate is set higher than that when forming the first layer, a second layer 5 composed of InP being formed, with an active layer 7 being formed thereon. 基板温度を第1の層の形成時よりも高くし、InPからなる第2の層を形成し、その上に、活性層を形成する。 - 特許庁
Using the mask 20a, on the InP layer 24, a group III-V compound semiconductor layer 26a including Ga, In, and As is formed. マスク20aを用いて、InP層24上にGa、In、及びAsを含むIII−V族化合物半導体層26aを形成する。 - 特許庁
This waveguide grating filter has a three-layered stripe structure consisting of a lower clad layer 3, a core layer 2 and an upper clad layer 1 on a non-doped InP substrate 4. ノンドープInP基板4上に、下部クラッド層3、コア層2、上部クラッド層1からなる3層ストライプ構造を有する。 - 特許庁
A diffraction grating for distributed feedback comprises at least InP semiconductor region 13 and AlGaInAs semiconductor layer 15. 分布帰還のための回折格子は、少なくともInP半導体領域13およびAlGaInAs半導体層15から構成される。 - 特許庁
The semiconductor light emitting device constituted like this emits light in a perpendicular direction against the n-type InP substrate. このように構成された本発明の半導体発光素子は、n型InP基板1に対して垂直な方向に光を放射する。 - 特許庁
To provide ferromagnetic group III-V compounds in which ferromagnetism can be obtained by using the group III-V compounds (GaAs, InAs, GaP, InP) transmitting light, and a method for controlling the ferromagnetic properties of the ferromagnetic group III-V compounds. 光を透過するIII-V族系化合物(GaAs, InAs, GaP, InP)を用いて強磁性が得られる強磁性III-V族系化合物の提供、およびその強磁性特性を調整することができる強磁性III-V族系化合物の強磁性特性を調整する方法を提供する。 - 特許庁
Related to an optical semiconductor transmitter/receiver element 100, a mesa-striped laminated part and an Fe-InP 70, formed on both sides of it, are formed on an n-InP substrate 50, and an AnZnNi electrode 31 and an AnGeNi electrode 32 are provided on the upper and lower surfaces of the element, respectively. 光半導体送受信素子100は、n−InP基板50上に、メサストライプ状の積層部とその両側に形成されたFe−InP70が形成されて、さらに、素子上面および下面には夫々AuZnNi電極31、AuGeNi電極32が設けられている。 - 特許庁
In the semiconductor light-receiving element (APD: avalanche photodiode) 11, a low carrier-concentration or undoped InP tunnel-current suppression layer 24 is formed between an n-InGaAsP optical absorption layer 23 and an n-InP multiplication layer 25, and the concentration of carriers near a hetero-interface is suppressed. 半導体受光素子(APD)11では、n−InGaAsP光吸収層23とn−InP増倍層25との間に、低キャリア濃度又はノンドープのInPトンネル電流抑制層24が形成されているため、ヘテロ界面近傍でのキャリア濃度が抑えられる。 - 特許庁
An n-type DBR layer 12 (distribution Bragg reflection layer of first conductivity type), an i-InGaAs optical absorption layer 14 (optical absorption layer) with low carrier concentration, and a p-type InP window layer 16 (semiconductor layer of second conductivity type) are formed in order on an n-type InP substrate 10 (semiconductor substrate). n型InP基板10(半導体基板)上に、n型DBR層12(第1導電型の分布ブラッグ反射層)、低キャリア濃度のi−InGaAs光吸収層14(光吸収層)、及びp型InP窓層16(第2導電型の半導体層)が順番に形成されている。 - 特許庁
The compound semiconductor wafer for making the ultrahigh- speed electronic devices comprises a GaN substrate 1, a buffer layer 1c formed on the substrate, having thickness ranging from 10 nm to 1 μm and comprising InP, and an epitaxial layer 1d formed on the buffer layer and including InP. 高速電子デバイス形成用化合物半導体ウエハは、GaAs基板(1)と、この基板上に形成されていて10nm〜1μmの範囲内の厚さを有するInPからなるバッファ層(1c)と、このバッファ層上に形成されていてInPを含むエピタキシャル層(1d)とを含んでいる。 - 特許庁
By forming the above structure; holes are implanted through two paths of a first path which is directly implanted from the upper face of the InGaAsP active layer 3, and a second path which is implanted from the side face of the InGaAsP active layer 3 through the InGaAsP intermediate layer 7 from the first p-InP clad layer 4. 上記構造とすることにより、正孔は、InGaAsP活性層3の上面から直接注入される第1経路と、第1p−InPクラッド層4からInGaAsP中間層7を介してInGaAsP活性層3の側面から注入される第2経路との2つの経路を経由して注入される。 - 特許庁
In the semiconductor laser, having an InGaAlAs active layer using an InP substrate, an n-type clad layer making direct contact with the active layer is made of InP or InGaAsP, and a p-type optical waveguide layer making direct contact with the active layer is made of an InGaAlAs or an InAlAs. InP基板を用いたInGaAlAs系活性層を有する半導体レーザにおいて、活性層に直接接するn−クラッド層をInPまたはInGaAsPとし、活性層に直接接するp−光ガイド層をInGaAlAsまたはInAlAsとする。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a quantum dot in which the quantum dot is formed in an isotropic shape on an InP substrate by an MBE method. MBEによりInP基板上に等方的な形状の量子ドットを形成することのできる量子ドットの製造方法を提供する。 - 特許庁
A lower DBR (distributed Bragg reflector) layer 1, a core layer 2, an upper DBR layer 3, and a dielectric multilayer film 6 are sequentially layered on an n-InP substrate 11. n−InP基板11上に下部DBR層1、コア層2、上部DBR層3、誘電体多層膜6が順次積層される。 - 特許庁
To manufacture highly efficiently a compound semiconductor particle comprising InP-ZnS good in light emission characteristics by a very simple method. 極めて簡便な方法で発光特性の良好なInP−ZnSからなる化合物半導体粒子を高効率に製造できるようにする。 - 特許庁
The p-type Al(Ga)InAs electron barrier layer 22 is present on the whole surface between the ridge 28 and the first p-type InP clad layer 20. リッジ28と第1のp型InPクラッド層20との間の全面にp型Al(Ga)InAs電子障壁層22が存在する。 - 特許庁
To provide a long wavelength band high performance semiconductor light emitting device that is formed on an InP substrate, and also to provide a method for manufacturing the same. 本発明はInP基板上に形成可能な長波長帯の高性能な半導体発光素子及びその製造方法を提供する。 - 特許庁
An optical guide layer 51, an active layer 52 and an optical guide layer 53 constituted of i-type InGaAsP are formed on an n-type InP substrate 50. n型InP基板50の上に、i型InGaAsPからなる光ガイド層51、活性層52及び光ガイド層53を形成する。 - 特許庁
The InP substrate 21 contains a first end face 21a and a second end face 21b which are extended along a flat plane crossing the axis Ax. InP基板21は、所定の軸Axに交差する平面に沿って伸びる第1の端面21aおよび第2の端面21bを有する。 - 特許庁
Or, indium oxide and/or phosphorus oxide is added to B2O3 as a sealing agent and the InP single crystal is grown by the liquid encapsulating Czochralski method. または、封止剤であるB_2O_3に酸化インジウムおよび/または酸化リンを添加し、液体封止チョクラルスキー法でInP単結晶を育成する。 - 特許庁
The InGaAsP semiconductor layer 16 is arranged between the InP substrate 4 and the III-V compound semiconductor light-absorbing layer 18. InGaAsP半導体層16は、InP基板4とIII−V族化合物半導体光吸収層18との間に設けられている。 - 特許庁
The III-V compound semiconductor light-absorbing layer 18 is arranged between the InP substrate 4 and the InGaAsP semiconductor layer 20. III−V族化合物半導体光吸収層18は、InP基板4とInGaAsP半導体層20との間に設けられている。 - 特許庁
The upper part of the spacer layer, active layer, and buffer layer is worked into a mesa- stripe, with its both sides embedded with p/n-InP layers 8/9. スペーサ層、活性層及びバッファ層の上部は、メサストライプ状に加工され、その両側はp/n−InP層8/9で埋め込まれている。 - 特許庁
To decrease a dark current by reducing an InGaAs photodetection layer in As concentration and improving an InP window layer in crystallinity at the same time. InGaAs受光層でのAs抜け低減と、InP窓層での結晶性の向上との両立により、暗電流を低減することができるようにする。 - 特許庁
To solve a problem caused by an impurity as a contaminant adhered to the surface of a substrate formed of InP in a state that he desired characteristics can be obtained. 所望の特性が得られる状態で、InPからなる基板の表面に付着した汚染物としての不純物による問題が解消できるようにする。 - 特許庁
The resist pattern 64 is removed to thereby form an SiO_2 mask for manufacturing a waveguide layer structure having a tilted surface a on InP (e). レジストパターン64を除去することにより、InP上に傾斜面aを有する導波層構造を作製するためのSiO_2マスクが形成される(e)。 - 特許庁
To provide a semiconductor laser provided with a diffraction grating including an InP semiconductor and an AlGaInAs semiconductor without using an InAsP semiconductor. 、InAsP半導体を用いることなくInP半導体およびAlGaInAs半導体を含む回折格子を備える半導体レーザを提供する。 - 特許庁
To reduce a defect (for instance, displacement) of a metamorphic substrate growing an InP-based semiconductor device by using a compression strain layer and a tensile strain layer. 圧縮歪層と引張歪層とを利用して、InP系半導体デバイスを成長させるメタモルフィック基板の欠陥(例えば転位)の低減を可能にする。 - 特許庁
A high-resistance layer 15 is formed among an upper surface of the optical waveguide layer 6, a side surface of the clad layer 4, and a surface of the undoped InP layer 7. 光導波層6の上面およびクラッド層4の側面と、アンドープ型InP層7の表面との間に、高抵抗層15が設けられる。 - 特許庁
On the second surface of the n-type InP substrate 32, a material or a structure having a higher reflectance to the incident light than that of the low reflection film 46 is not provided. n型InP基板32の裏面には、低反射膜46よりも入射光に対する反射率が高い物質又は構造が設けられていない。 - 特許庁
The Mach-Zehnder optical modulator 3, the output optical waveguide 4, and the light receiving parts 5 and 6 are monolithically integrated on one n-type InP substrate 1. これらのマッハツェンダ型光変調器3、出力光導波路4、及び受光部5,6は、1つのn型InP基板1上にモノリシックに集積されている。 - 特許庁
Each of bipolar transistors T5, T11 for level shift has an emitter terminal to which a constant current is supplied and a base terminal for receiving input signals INP, INM respectively. レベルシフト用バイポーラトランジスタT5,T11は、エミッタ端子に定電流が供給されるとともに、ベース端子に入力信号INP,INMを受ける。 - 特許庁
An InGaAlAs layer 201 is introduced by about 30 nm between an upper side guide layer 104 of undoped InGaAsP and a p-type InP clad layer 105. アンドープInGaAsP上側ガイド層104とp型InPクラッド層105との間に、InGaAlAs層201を30nm程度導入する。 - 特許庁
Furthermore, Zn is thermally diffused selectively into the light receiving region until the n-type InP avalanche multiplication layer 6 is reached, thus forming a p-type conductive region 10. さらに、前記受光領域に、Znを選択的にn型InPアバランシェ増倍層6に至るまで熱拡散し、p型導電領域10を形成する。 - 特許庁
The plurality of barrier layers 2 include a second conductivity-type barrier layer 2a into which second conductivity-type dopants contained in the n-InP clad layer 23 are introduced. 複数のバリア層2は、n−InPクラッド層23に含まれる第2導電型のドーパントが導入された第2導電型バリア層2aを含んでいる。 - 特許庁
The structure is realized by forming the substrate side of a channel layer with an InP layer, an insertion layer of an InAlP layer, and a buffer layer of InAlAs layer, for example. この構造は、例えば、チャネル層の基板側をInP層、挿入層をInAlP層、バッファ層をInAlAs層とすることにより実現する。 - 特許庁
To provide an InP single crystal which is reduced in twin defects in an area with low carrier concentration while reducing dislocation density therein. キャリア濃度が低い領域において、転位密度を低減しつつ双晶欠陥の発生を抑制したInP単結晶およびその製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method for producing simply and industrially-advantageously indium organic carboxylate useful as an indium source in the production of InP fine particles or the like. InP微粒子などの製造におけるIn源として有用な有機カルボン酸インジウムを、簡易にかつ工業的に有利に製造する方法を提供する。 - 特許庁
A semiconductor optical element 50b is provided with group III-V compound semiconductor layer 26a, along the edge of the backside of an InP support base 10a. 半導体光素子50bでは、InP支持基体10aの裏面のエッジに沿ってIII−V族化合物半導体層26aが設けられている。 - 特許庁
To allow liquid-phase epitaxial growth by a temperature- difference method or an annealing method on a substrate S of a III-V compound semiconductor such as GaP or InP. GaPあるいはInPなどのIII-V族系化合物半導体からなる基板S上に温度差法あるいは徐冷法により液相エピタキシャル成長させる。 - 特許庁
A mesa structure 31 comprising a second conductive cladding layer 37 as InP, an etched active region 35 and a first conductive cladding layer 33 are formed. InPである第2導電型クラッド層37、エッチングされた活性領域35、および第1導電型クラッド層33を含むメサ構造31を形成する。 - 特許庁
To realize low chirping (including zero chirping) in a capacity loaded type semiconductor Mach-Zehnder optical modulator which is formed by an InP related material. InP系材料からなる容量装荷型の半導体マッハツェンダ型光変調器において、低チャーピング(ゼロチャーピングを含む)を実現できるようにする。 - 特許庁