サイクルパージの英語

金属気化用気化室のサイクルパージ方法例文帳に追加

CYCLE PURGE METHOD OF VAPORIZING CHAMBER FOR METAL VAPORIZATION - 特許庁

流量調整器のサイクルパージ方法例文帳に追加

CYCLE PURGE METHOD FOR FLOW CONTROLLER - 特許庁

パージ工程のときの大気の流れと同一にサイクルパージを実施すると、ヒュームを実質的に除去することができる。例文帳に追加

When a cycle purge is performed in the same flow as the flow of the air at the time of the purge stage, fumes can substantially be removed. - 特許庁

サイクルパージ工程では、ガス供給系３５の部品及び配管内部の残留水分を除去し、水分との反応で腐食性を増すＤＣＳガスと炉口部金属部品４１との化学反応を抑制する。例文帳に追加

In the cycle purge process, the parts of a gas supply system 35 and residual moisture inside piping are removed, and the chemical reaction of digital cellular system(DCS) gas and furnace throat part metal part 41 which increase corrosiveness at reaction with moisture. - 特許庁

半導体製造装置で基板処理を行なう前に、次の３つの工程（酸化膜形成工程、サイクルパージ工程、コーティング工程）を連続して行なう。例文帳に追加

Before substrate processing is carried out by a semiconductor manufacturing device, the following three processes(oxide film forming process, cycle purge process, and coating process) are continuously carried out. - 特許庁

ここで、熱処理によりマスク１から昇華あるいは蒸発した炭化水素分子を効率よく排出するために、ガス導入ポート３３およびガス排気ポート３５を用いて、微量の酸素や窒素などのガスでサイクルパージすることが好ましい。例文帳に追加

In order to efficiently exhaust the hydrocarbon molecules sublimed or evaporated from the mask 1 by heat treatment, the hydrocarbon molecules are preferably cyclicly purged with a minute amount of oxygen and nitrogen gases by using a gas introduction port 33 and a gas exhaust port 35. - 特許庁