Wien filterとは 意味・読み方・使い方

CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEMS, PARTICULARLY MASS FILTER FOR ION BEAM SYSTEM AND WIDE APERTURE WIEN E×B MASS FILTER例文帳に追加

大開口のウィーンＥ×Ｂ質量フィルタ本発明は、荷電粒子ビームシステムに関し、特に、イオンビームシステムのための質量フィルタに関する。 - 特許庁

To provide a wide aperture Wien E×B mass filter for use in a focused ion beam system.例文帳に追加

集束イオンビームシステムで使用するための大開口のウィーンＥ×Ｂ質量フィルタを提供する。 - 特許庁

This Wien filter type energy analyzer 11 has 12 magnetic poles formed by electrodes 13 and yokeless coils 14.例文帳に追加

ウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ１１は、電極１３とヨークレスコイル１４による磁極を１２極にしている。 - 特許庁

These electron beams are deflected by the Wien filter 13 and two electron beams emitted from the Wien filter 13 are decelerated by a retarding voltage through a cathode lens 14 to vertically enter and illuminate a predetermined range of a sample surface 15.例文帳に追加

これらの電子ビームは、ウィーンフィルター１３によって偏向され、ウィーンフィルター１３を出た２つの電子ビームは、その後カソードレンズ１４を介して、リターディング電圧により減速され、試料面１５の所定範囲を垂直に落射照明する。 - 特許庁

A device for processing a sample with the use of ion beams is so structured that a Wien filter 2 is arranged between an ion source 1 and a sample 2, and the ion beams from the ion source 1 are made to pass through the Wien filter 2 so as to have the beams shaped in a shape suited for processing of the sample.例文帳に追加

イオンビームを用いて試料を加工する装置において、イオン源１と試料４の間にウィーンフィルタ２を配置し、イオン源１からのイオンビームを前記ウィーンフィルタ２を通すことで、ビームの形状を試料の加工に適した形に整形するように構成する。 - 特許庁

The apparatus of correcting aberration comprises at least one of 2π-type Wien filter having multipole structure and ratio of quadrupole, hexapole, or octapole component to dipole component of electric or magnetic field around the optical axis of the Wien filter is determined within a specified range separately from a formula.例文帳に追加

多極子構造の２π型ウィーンフィルタを少なくとも一つ用いたものであって、各ウィーンフィルタの光軸近傍における電場及び磁場の４極子、６極子及び８極子の成分の、双極子の成分に対する比率を別途定式で定められた範囲に規定した、収差補正装置。 - 特許庁

This monochromator for charged particle has a plurality of Wien filters arranged in series back and forth in the diffusion direction of the particles, and part of the Wien filters is turned at a turning angle of 90° about the optical axis with respect to another Wien filter.例文帳に追加

荷電粒子用モノクロメータにおいて、粒子の拡散方向に相前後して直列に配置された複数のウィーンフィルタを有しており、このウィーンフィルタの一部は、別のウィーンフィルタに対して光軸の周りに９０°の回動角で回動して配置されていることを特徴とする荷電粒子用モノクロメータを構成する。 - 特許庁

A Wien filter 8-1 of the type constituted by a multipolar lens for on-axis chromatic aberration correction and performing image-formation twice is disposed between a magnifying lens of the secondary electron-optical system and a beam splitter 5-1 splitting a primary electron beam from a secondary electron beam to correct the on-axis chromatic aberration generated in an objective lens 14-1 through the Wien filter 8-1.例文帳に追加

軸上色収差補正用の多極子レンズからなり、２回結像するウィーンフィルタ８-1が、２次電子光学系の拡大レンズ１０-1と１次電子ビーム及び２次電子ビームを分離するビーム分離器５-1との間に配置され、対物レンズ１４-1で生じた軸上色収差を、ウィーンフィルタ８-1で補正する。 - 特許庁