ガスフロー制御の英語

処理チャンバへのガスフローを制御する方法及び装置例文帳に追加

METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING GAS FLOW TO PROCESSING CHAMBER - 特許庁

マスガスフローコントローラが配置されて、各入口ポートへのフローを制御する。例文帳に追加

Mass gas flow controllers are arranged to control flow into respective inlet ports. - 特許庁

この認識結果に基づき、熱処理７内のガスフローパターンを制御する。例文帳に追加

Based upon the recognition result, the gas flow pattern in the heat treatment furnace 7 is controlled. - 特許庁

アイドル速度制御弁は、バイパスガスフロー通路内に機能的に配設され、さらに、アイドル速度制御弁は、開閉位置の間を移動してバイパスガスフロー通路内への空気流を制御することができる。例文帳に追加

An idling speed control valve functionally arranged in the bypass gas flow line is adapted to be moved between the opening and closing positions for controlling an air flow into the bypass gas flow line. - 特許庁

容量結合プラズマプロセスチャンバにおけるガスフローコンダクタンス制御のための装置および方法例文帳に追加

DEVICE AND METHOD FOR GAS-FLOW CONDUCTANCE CONTROL IN CAPACITIVE COUPLING PLASMA PROCESSING CHAMBER - 特許庁

不活性ガスフローを溶融する多結晶シリコンに向けて一定の流速で流す間に、多結晶シリコンを坩堝中でシリコンからなる融液に溶融し、かつ単結晶をチョクラルスキー法により融液から引き上げる、制御された炭素含有量を有するシリコンからなる単結晶の製造方法において、不活性ガスフローの流速を制御することにより、融液中の炭素の濃度を調節する。例文帳に追加

A carbon content in a silicon melt is adjusted by controlling the rate of an inert gas flow, in the manufacture of the silicon single crystal with controlled carbon content, in which the inert gas flow is directed against a melting polycrystal silicon at a constant rate, the polycrystal silicon is molten into the silicon melt in a crucible and the single crystal is pulled from the melt by Czochralski method. - 特許庁

装置は、下部電極を同心円状に取り囲み、内部にスロットセットを有するグランドリングと、スロットを通してガスフローを制御するための機構１０８を含む。例文帳に追加

The device further comprises: a ground ring concentrically surrounding the lower electrode and having a set of slots therein; and a mechanism 108 for controlling the flow of the gas through the slots. - 特許庁