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バイアススパッタリング装置の英語
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「バイアススパッタリング装置」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 5件
バイアススパッタリング装置例文帳に追加
BIAS SPUTTERING APPARATUS - 特許庁
バイアススパッタリング装置例文帳に追加
BIAS SPUTTERING DEVICE - 特許庁
バイアススパッタリング方法及び弾性波装置の製造方法例文帳に追加
BIAS SPUTTERING METHOD AND METHOD FOR PRODUCING ELASTIC WAVE APPARATUS - 特許庁
安定した膜質で薄膜を形成し得るバイアススパッタリング方法及びそれを利用した弾性波装置の製造方法を提供する。例文帳に追加
To provide a bias sputtering method which can form a thin film with stable film quality and to provide a method for producing an elastic wave apparatus using the same. - 特許庁
基板前面外周部にシャドーを形成する方式のバイアススパッタにおいて、バイアス電力印加時の不安定要因を排除し、安定的なバイアス電力印加が可能であって、信頼性の向上されたバイアススパッタリング装置を提供する。例文帳に追加
To provide a bias sputtering apparatus with enhanced reliability, which can make a bias power stable by eliminating unstable factors of the applied bias power, when forming a shadow on the front periphery of a substrate with the bias sputtering method. - 特許庁
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