ビームプラズマの英語

電子ビームプラズマを用いる膜生成方法例文帳に追加

FORMATION OF FILM USING ELECTRON BEAM PLASMA - 特許庁

また本発明は、外部で発生するプラズマなしでビームプラズマを質量分析器の双極子磁界内で高める。例文帳に追加

A beam plasma is enhanced in the dipole magnetic field of the mass spectrometer without a plasma generated outside. - 特許庁

本発明の導波管250は、質量分析器の通路に沿って電界をビームプラズマに結合して、それによってＥＣＲ状態を改善する。例文帳に追加

The waveguide 250 according to the invention combines the electric field with beam plasma along the passage of the mass analyzer, thereby improving the ECR status. - 特許庁

良質の膜、例えば、ダイヤモンド様炭素膜を生成することの可能な電子ビームプラズマを用いる膜生成方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for forming a film using electron beam plasma capable of forming a film of high quality such as a diamondlike carbon film. - 特許庁

ビームプラズマおよびマスク表面付近に発生するプラズマ中のイオンがファラデーカップに入射することを抑制して、ビーム電流計測の誤差を小さくする。例文帳に追加

To make errors of beam current measurement small by suppressing incidence of ions in a plasma generated in beam plasma and near a mask surface to a Faraday cup. - 特許庁

また、本発明は、外部で発生されたプラズマを導入せずに低エネルギーのイオンビームのために質量分析器の双極子磁界内でビームプラズマの高揚を行う。例文帳に追加

In the invention, beam plasma is enhanced in the dipole field of the mass analyzer for low-energy ion beams, without introducing plasma generated outside. - 特許庁

保護膜１２は、イオンプレーティング、膨張性熱プラズマ、プラズマ励起化学気相成長法、有機金属化学気相成長法、有機金属気相エピタキシー、スパッタリング、電子ビーム、プラズマスプレーなどにより成膜することができる。例文帳に追加

The protective film 12 can be deposited by ion-plating, expansive thermal plasma, the plasma-excited chemical vapor deposition method, the organic metal vapor deposition method, the organic metal vapor deposition epitaxy, sputtering, electronic beams, plasma spray or the like. - 特許庁