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ピラニ真空計の英語
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英訳・英語 Pirani gauge
「ピラニ真空計」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 11件
ピラニ真空計例文帳に追加
PIRANI VACUUM GAGE - 特許庁
薄膜ピラニー真空センサとこれを用いた真空計測装置例文帳に追加
THIN FILM PIRANI VACUUM SENSOR AND VACUUM MEASURING DEVICE USING IT - 特許庁
ピラニ真空計および圧力測定方法例文帳に追加
PIRANI VACUUM GAGE AND METHOD FOR MEASURING PRESSURE - 特許庁
本発明の真空処理装置１の真空チャンバ２には、真空度を監視するバラトロンゲージやピラニーゲージ等からなる真空計１３が設けられ、真空計１３が検出した真空度はＡＰＣ１４に入力される。例文帳に追加
A vacuum gauge 13 for monitoring a degree of vacuum comprising a baratron gauge, a pirani gauge or the like is provided to a vacuum chamber 2 of the vacuum treatment device 1, and the degree of vacuum detected by the vacuum gauge 13 is inputted to the APC 14. - 特許庁
高真空圧から一気圧近い低真空圧までの高帯域で高感度である薄膜ピラニー真空センサと真空計測装置を提供する。例文帳に追加
To provide a thin film Pirani vacuum sensor having high sensitivity in a high band from a high vacuum pressure to a low vacuum pressure which is lower by almost one atmospheric pressure, and a vacuum measuring device. - 特許庁
ピラニ真空計から出力された、気体の圧力に対応した電圧値Ｖ（出力）は、ドライバ２を介して演算部４に入力される。例文帳に追加
A voltage value V (output) corresponding to a gas pressure output from a Pirani vacuum gage is input into an operation part 4 through a driver 2. - 特許庁
静電容量型隔膜真空計とピラニ真空計を単一のシリコン基板上に製造することが可能で、これにより製品の小型化と大量生産による製造コストの低減が可能となる。例文帳に追加
To attain miniaturization of products and low manufacturing cost by mass production by manufacturing a capacitance type diaphragm vacuum gage and a Pirani vacuum gage on a single silicon substrate. - 特許庁
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「ピラニ真空計」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 11件
フィラメントを有するセンサー部と制御系とが離れていても測定精度が高く、構造が簡易で、かつ圧力の測定範囲が広い定電流型ピラニ真空計を提供する。例文帳に追加
To provide a constant-current type Pirani vacuum gage having high measurement accuracy, even if a sensor part that has a filament is separated from a control system, and a simple structure, and a wide measurement range of pressure. - 特許庁
通常の状態では、出力端子が抵抗ブリッジ回路５から電気的に切り離されている第２の増幅器３２を設け、フィラメント２５が断線したときに、ピラニ真空計２０の出力範囲を超える高電圧を出力させる。例文帳に追加
This circuit 1 further comprises a second amplifier 32 whose output terminal is electrically disconnected from the resistance bridge circuit 5, which outputs a high voltage exceeding the output range of the Pirani gauge 20 when the filament 25 is disconnected. - 特許庁
空洞２１は、２つの屈曲部４９ａ，４９ｂの間の電気抵抗体４０が配された領域Ｓにおいて、ピラニ真空計１０を使用する際に重力方向Ｗに沿った方向となる長さＬを、対流が生じない長さ、即ち１ｍｍ以下となるように形成される。例文帳に追加
A cavity 21 is formed so that a length L in a direction along the gravity direction W when using a Pirani vacuum gage 10 is set to be a length not generating convection, namely, ≤1 mm, in a domain S where the electric resistor 40 between two bending parts 49a, 49b is arranged. - 特許庁
この圧力測定回路１は、ピラニ真空計２０のフィラメント２５を組み込んだ抵抗ブリッジ回路５に、第１の増幅器３１が接続されており、第１の増幅器３１の負帰還動作により、抵抗ブリッジ回路５には、フィラメント２５の温度が一定に維持されるように通電される。例文帳に追加
This pressure measuring circuit 1 comprises a first amplifier 31 connected to a resistance bridge circuit 5 having the filament 25 of a Pirani gauge 20 integrated thereto, and a current is carried to the resistance bridge circuit 5 by the negative return motion of the first amplifier 31 so as to keep the temperature of the filament 25 constant. - 特許庁
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