プラズマ処理装置の構成部材であって、アルミニウムを陽極酸化して表面に酸化被膜を形成した材料からなる部材につき、該部材を被破壊に処理して該部材の金属汚染の評価を行って、該プラズマ処理装置をプラズマ処理に供するプラズマ処理装置の評価方法。例文帳に追加

In this evaluating method, a structural member of a plasma treatment apparatus, which is a member composed of a material forming an oxide film on a surface by anode-oxidizing aluminum, is treated non- destructively for evaluation a metal contamination of the member, and the plasma treatment apparatus is used for plasma-treatment. - 特許庁

耐食性に優れる陽極酸化Ａｌ基金属材、その製造方法およびそれを用いたプラズマ雰囲気用Ａｌ基金属部品例文帳に追加

ANODIC OXIDIZED AL MATERIAL HAVING EXCELLENT CORROSION RESISTANCE, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND AL PARTS FOR PLASMA ATMOSPHERE SAME - 特許庁

プラズマ処理装置の真空チャンバ内壁などのアルミニウム合金基材表面に形成される陽極酸化皮膜中のクラック発生を抑制し、熱反射率が低く耐電圧が高い陽極酸化皮膜を高能率で形成する陽極酸化処理方法を提供することである。例文帳に追加

To provide a method of forming an anode oxide film by which the occurrence of crack on the anode oxide film formed on the surface of an aluminum alloy base material such as a vacuum chamber inner wall of a plasma treating device is suppressed and the anode oxide film having low heat reflectance and high voltage resistance is formed with high efficiency. - 特許庁

更に、本発明によれば、高周波励起プラズマ又は電子線酸化陽極プラズマを用いる活性化反応性蒸着法にて上記インジウム／酸化インジウム複合蒸着膜を形成する上記電磁波透過性金属蒸着ホログラム転写材の製造方法が提供される。例文帳に追加

Further, a method for manufacturing the electro-magnetic wave transmittable metalized hologram transfer material is provided wherein the indium/indium oxide composite vapor deposited film is formed by an activated reaction vapor deposition method using a high frequency excited plasma or an electron beam oxidation anodic plasma. - 特許庁

第１の工程は、電極芯材２４の表面にポーラス構造のアルミナ膜を形成する工程で、例えばプラズマ溶射法や陽極酸化法により電極芯材の表面に約６μｍの厚みのアルミナ膜を形成する。例文帳に追加

A first step is a step of forming an alumina film of a porous structure on a surface of the electrode core material 24, and the alumina film which is about 6μm thick is formed on the surface of the electrode core material by a plasma spray coating method or an anode oxidization method, for example. - 特許庁

開示した陽極酸化表面処理方法は、強アルカリの水溶液を利用してマグネシウム又はマグネシウム合金表面の異物質と酸化層を除去する前処理工程と；該前処理工程を経たマグネシウム又はマグネシウム合金をアルカリ電解液中に浸した後、電流密度が３Ａ／ｄｍ^２以下の直流電流を加えてマグネシウム酸化物の皮膜コーティング層を形成する微細アークプラズマ陽極酸化工程とを含む。例文帳に追加

The method of surface treatment by anodizing comprises: a pretreatment step of removing impurities and an oxide layer present on the surface of magnesium or a magnesium alloy using a strongly alkaline aqueous solution; and a micro-arc plasma anodization step of immersing the pre-treated magnesium or magnesium alloy in an alkaline electrolyte and applying a direct current having a current density of 3 A/dm^2 or less to the electrolyte to form a magnesium oxide coating. - 特許庁