マイクロ波放電法の英語

容器内での放電を抑制したマイクロ波照射方法及び装置例文帳に追加

METHOD AND APPARATUS FOR IRRADIATION OF MICROWAVE IN WHICH ELECTRICAL DISCHARGE IS CONTROLLED IN CONTAINER - 特許庁

マイクロ波放電ランプシステム及びそれに用いる反射鏡付き放電ランプの製造方法例文帳に追加

MANUFACTURING METHOD OF MICROWAVE DISCHARGE LAMP SYSTEM AND DISCHARGE LAMP WITH REFLECTING MIRROR USED FOR IT - 特許庁

マイクロ波透過材料からなる容器内に収納した物質にマイクロ波を照射するマイクロ波照射方法において、容器内の該物質が収納されていない空間部にマイクロ波が直接照射されないようにマイクロ波を照射して該空間部における放電現象の発生を抑制したマイクロ波照射方法および装置。例文帳に追加

In the method and the apparatus for irradiation of microwaves irradiating a material housed in a container made of a microwave permeation material with the microwaves, the microwaves are emitted so that a space part where the material in the container is not housed is not irradiated with the microwaves directly, and the generation of discharge on the space part is controlled. - 特許庁

マイクロ波ガス放電を用いて層をプラズマ化学的に堆積させる方法及び装置例文帳に追加

METHOD FOR PLASMA-CHEMICALLY DEPOSITING LAYER USING MICROWAVE GAS DISCHARGE AND DEVICE THEREFOR - 特許庁

マイクロ波線形放電源の電力機能ランピングのためのシステムおよび方法例文帳に追加

SYSTEM AND METHOD FOR POWER FUNCTION RAMPING OF MICROWAVE LINER DISCHARGE SOURCE - 特許庁

マイクロ波放電による大面積・高密度プラズマの生成方法及び装置例文帳に追加

METHOD AND APPARATUS FOR GENERATING HIGH AREA/HIGH DENSITY PLASMA BY MICROWAVE DISCHARGE - 特許庁

アーク放電の発生を抑制できるマイクロ波照射方法及び接地部材を提供する。例文帳に追加

To provide an irradiation method of microwave and a grounding member capable of suppressing generation of arc discharge. - 特許庁

マイクロ波電磁界の乱れを少なくした冷却方法を用いることによる高効率なマイクロ波放電光源装置を提供することを目的とし、特に高出力のエキシマ光放射を行う高圧エキシマランプを利用したマイクロ波放電光源装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a high-efficiency microwave discharge light source device, using a cooling method which reduces a disturbance of electromagnetic field of a microwave, where in particular, the microwave discharge light source uses a high-pressure excimer lamp which radiates a high-power excimer light. - 特許庁