乾式ライナの英語

このような半導体装置のトレンチ隔離形成方法は、トレンチ形成用マスクとトレンチライナ１１０間のエッチング率の差が起こらない乾式エッチングをすることにより、ライナくぼみを防止できる。例文帳に追加

In a semiconductor device trench isolation forming method as mentioned above, a dry etching where an etching rate difference between a trench forming mask and the trench liner 110 does not occur is carried out, whereby a liner recess can be prevented. - 特許庁

そして、トレンチライナ上に第３絶縁膜１１２が形成された後、第１絶縁膜の表面が露出するまで第２絶縁膜とトレンチライナ１１０が平坦にエッチングされ、第１絶縁膜とトレンチライナ１１０が乾式エッチングで除去される。例文帳に追加

A third insulating film 112 is formed on the trench liner 110, then the second insulating film and the trench liner 110 are etched flat till the surface of the first insulating film is exposed, and the first insulating film and the trench liner 110 are removed by dry etching. - 特許庁

軸方向における上部の外周にフランジ部を有する乾式シリンダライナにおいて、少なくとも、フランジ部１１の下からシリンダライナの軸方向長さの５％の領域にわたる外周面に、シリンダライナの母材よりも線膨張係数が高い金属からなる熱膨張皮膜を形成する。例文帳に追加

In the dry type cylinder liner having a flange at an outer circumference at an upper part in the axial direction, at least a thermal expansion coating made by metal with a linear expansion coefficient higher than that of a matrix of the cylinder liner is formed on the outer circumference at a range of 5% of the length in the axial direction of the cylinder liner from the underneath of a flange 11. - 特許庁

赤熱コークスを冷却する冷却塔のコークス排出口に設けられたロータリーシール弁によってコークスを連続的に排出する排出装置において、ロータリーシール弁を構成するケーシングのうち羽根部を覆うケーシングの内面に複数に分割したセラミックライナを張設したことを特徴とするコークス乾式消火設備の排出装置。例文帳に追加

In the discharge device of coke dry quenching equipment which continuously discharges coke by a rotary seal valve provided at the coke outlet of a cooling tower for cooling red-hot coke, more than one divided ceramic liners are affixed on to the inner surface of the casing covering impeller blades among casings constituting the rotary seal valve. - 特許庁