変質形成の英語

レーザー光線を照射することにより変質層を形成し、この変質層に沿って効率良く且つ確実に分割する。例文帳に追加

To provide a wafer dividing method capable of forming an altered layer by irradiation with a laser beam and efficiently and surely executing division along the altered layer. - 特許庁

第３工程は、第１の変質部と第２の変質部をエッチングし、第１の穴と前記第２の穴を形成する。例文帳に追加

In step 3 the first hole and the second hole are formed by etching the first modified part and the second modified part. - 特許庁

次に、段状に形成されたレジストマスク１０７を途中までアッシングした後、変質層１０８を除去する変質層除去工程を行う。例文帳に追加

Then after half-ashing a resist mask 107 formed with bumps, an altered layer removing process is performed for removing an altered layer 108. - 特許庁

シリコン窒化膜３の側面３ｓを変質させてシリコン酸化膜３ｂを形成する。例文帳に追加

The side 3s of the silicon nitride film is deteriorated for forming a silicon oxide film 3b. - 特許庁

この場合、保護膜５の上面側に凸凹構造の変質層Ａが形成される。例文帳に追加

This causes formation of the alteration layer A of an irregular structure on the upper-surface side of the protective-film 5. - 特許庁

変質部１１は、素子分離線３、４に沿った方向に不連続かつ直線状に形成されている。例文帳に追加

The altered part 11 is formed discontinuously and linearly to a direction along the element dividing lines 3, 4. - 特許庁

この場合、保護膜５の上面側に凸凹構造の変質層Ａが形成される。例文帳に追加

In this case, a quality-changed layer A having an uneven structure is formed on the top surface side of the protective film 5. - 特許庁

複数の変質層を形成する際に変質層を基点として伝播する亀裂が変質層間に誘導されるようにしたレーザー加工装置を提供する。例文帳に追加

To provide a laser beam machining apparatus, in which cracks propagated from a metamorphosed layer as a start point are made to be induced in between the metamorphosed layers when forming a plurality of metamorphosed layers. - 特許庁