変質反応の英語

薬液成分には、レジストと反応して変質層を作る物質が用いられ、好適には現像液またはＨＭＤＳの蒸気が用いられる。例文帳に追加

A substance that reacts with the resist to produce a modified layer is used for the chemical liquid component, and preferably, a vapor of a developing solution or HMDS (hexamethyldisilazane) is used. - 特許庁

反応中や反応後の生成物の分離操作等の加熱条件における、触媒、溶媒、あるいは目的生成物であるアミド化合物の変質を防ぎ、アミド化合物を継続的に高収率で製造する方法の提供。例文帳に追加

To provide a method for continuously producing amide compounds in high yield while preventing the change in properties of catalyst, solvent or objective amide compound under the heating condition during the reaction or the separation, etc., of the reaction product. - 特許庁

被処理体は所定温度以下に冷却手段２２により冷却され、活性化されたＮＦ_3 ガスに曝され、該ガスと反応し、酸化膜は変質して反応膜が被処理体Ｗの表面に形成される。例文帳に追加

The subject is cooled down to a predetermined temperature or lower by a cooling means 22 and exposed to the activated NF_3 gas to react with the gas and the oxide film is transformed into reacted film on the subject surface W. - 特許庁

シリコン酸化膜をエッチングする方法において，シリコン酸化膜の表面に，フッ化水素ガスＨＦ及びアンモニアガスＮＨ_３を含む混合ガスを供給し，シリコン酸化膜と混合ガスとを化学反応させ，シリコン酸化膜を変質させて反応生成物を生成する変質工程を行い，その後，反応生成物を加熱して除去する加熱工程を行う。例文帳に追加

A method of etching a silicon oxide film includes a decomposition step of feeding a blended gas containing a hydrogen-fluoride gas HF and an ammonia gas NH_3 over a surface of the silicon oxide film, making chemical reaction carried out on the silicon oxide film and the blended gas, and decomposing the silicon oxide film to produce a reaction product; and a heating step of then heating and removing the reaction product. - 特許庁

電極構造体中において生じる電極反応によるガスの発生や好ましくないイオンの生成、或いは通電時における薬物の化学反応による変質を抑止、或いは少なくとも低減することができるイオントフォレーシス装置を提供する。例文帳に追加

To provide an iontophoresis apparatus, in which generation of gas or undesirable ions due to electrode reaction occurring in an electrode structure, or deterioration of a drug due to chemical reaction during conduction can be inhibited or at least reduced. - 特許庁

α−ハロエステルを開始剤、ハロゲン化銅を触媒とする原子移動ラジカル重合をステンレス製容器内で実施するにあたり、重合反応阻害、反応器の汚染、腐食、変質が生じることのない重合方法を提供する。例文帳に追加

To provide a polymerization method with no occurrence of hindrance of polymerization reaction, or contamination, corrosion, and deterioration of a reactor in carrying out atom transfer radical polymerization in a stainless steel container using an α-halo ester as an initiator, and a copper halide as a catalyst. - 特許庁

Ｎ−ヒドロキシフタルイミドなどのイミド化合物を触媒とし炭化水素類などを基質として用いた反応混合物から、反応生成物と触媒及び／又は該触媒の変質体とを簡単な操作で効率よく分離できる方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for separating a reaction product and a catalyst, by which the reaction product and the catalyst and/or its changed product can simply and efficiently be separated from the reaction mixture using an imide compound such as N-hydroxyphthalimide as the catalyst and a hydrocarbon or the like as a substrate. - 特許庁

電池特性に悪影響を与える有害物質を含まない清浄な反応空気を燃料電池の酸化剤極に供給し、有害物質と電解質との化学反応に基づく電解質の変質などを防止し、信頼性が高く、長寿命で耐久性の高い燃料電池を提供する。例文帳に追加

To provide a fuel cell device having high reliability, a long service life and excellent durability by supplying clean reaction air not containing harmful materials having adverse influence on the cell characteristic to an oxidizing agent pole of a fuel cell to prevent the deterioration due to the chemical reaction of the harmful materials with the electrolyte. - 特許庁