干渉顕微鏡検査法の英語

Ｘ線干渉顕微鏡およびＸ線反射鏡の検査方法例文帳に追加

X-RAY INTERFERENCE MICROSCOPE AND METHOD FOR TESTING X-RAY REFLECTING MIRROR - 特許庁

干渉縞の影響を除去した光電センサと、それを用いたパターン検査装置、顕微鏡およびマスクの製造方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a photoelectric sensor, from which the influence of interference fringe is removed, and to provide a pattern-inspecting device using the sensor, a microscope and the manufacturing method of a mask. - 特許庁

本発明に係る検査方法では、微分干渉顕微鏡１による、透明な実装基板１０を介した電極パッド１０ａの観察像を電子画像データとして得る。例文帳に追加

In this inspection method, an observation image of the electrode pad 10a through a transparent mounting substrate 10 by the differential interference microscope 1 is acquired as electronic image data. - 特許庁

本発明に係る電子部品実装状態検査方法の一例では、まず、微分干渉顕微鏡１による透明な実装基板１０を介した電極パッド１０ａの観察像を、電子画像データとして得る。例文帳に追加

In the example of the electronic component mounting state inspection method disclosed herein, first an observation image of the electrode pads 10a via a transparent mount board 10 by a differential interference microscope 1 is obtained as electronic image data. - 特許庁

ウェーハ７の表面を微分干渉顕微鏡で撮影し、画像処理によって表面に観察される欠陥の個数を計数する欠陥検査方法である。例文帳に追加

In the defect inspection method, the surface of a wafer 7 is photographed by a differential interference microscope, and the number of defects observed on the surface is counted by image processing. - 特許庁

この発明は、検査人の個人差または電極パッドの材質に依存すること無く自動的に検査することができ、また、微分干渉顕微鏡で観察された背景の明るさの変化に応じた画像処理が可能な電子部品実装状態検査方法等を提供する。例文帳に追加

To provide a method for inspection of a mounting state of an electronic component or the like capable of inspecting automatically without depending on the individual difference of an inspecting person and the material of an electrode pad, and performing image processing corresponding to a change of the background brightness observed by a differential interference microscope. - 特許庁

生体細胞のような位相物体の観察に用いられてきた従来の位相差顕微鏡に代わって、広くて深い測定視界を持ち、位相差の干渉画像が鮮明に得られる、単純で簡便な位相物体画像の識別、検査の方法と装置を提供する。例文帳に追加

To provide a method and apparatus for identifying and inspecting a simple easy phase object image, whereby a wide, deep measurement visual field is provided and a phase difference interference image is sharply obtained in the place of conventional phase difference microscope used for observing a phase object such as a biological cell. - 特許庁