水晶膜厚計の英語

水晶式膜厚計により膜厚制御および成膜速度制御を行う薄膜形成装置において、この膜厚計に用いられる水晶振動子を長寿命化する方法を提供し、長時間にわたる連続成膜を可能にする。例文帳に追加

To provide a method for extending the life of a quartz oscillator used for a quartz-type thickness tester, in a thin-film-forming apparatus which employs the thickness tester to control a film thickness and a deposition rate, and to enable continuous film-forming over a long time. - 特許庁

光学膜厚制御の精度を大きく改善することができ、又さらに水晶膜厚計に代わる光学膜厚計を提供することにより、成膜速度の安定化とコストダウンに貢献することができるようにする。例文帳に追加

To drastically enhance control accuracy of optical film thickness, and to contribute to stabilize film forming speed and reduce cost by providing an optical film thickness meter alternative to a quartz film thickness meter. - 特許庁

まず、成膜作業開始前の予備加熱段階は、水晶発振式膜厚計6を用いて、所望の成膜速度で安定するように電源51の出力を制御する。例文帳に追加

Firstly, in the preliminary heating stage before starting the film deposition work, the output of the power supply 51 is controlled so as to be consistent at a desired film deposition rate by using a crystal oscillation type film thickness meter 6. - 特許庁

半導体基板１に形成したのと同じ溝が表面に形成された水晶振動子を用いたＱＣＭ９の共振周波数変化を測定することにより、半導体基板１の配線溝内部の膜厚をめっき中に高精度で計測する。例文帳に追加

The thicknesses of the films within the wiring grooves of the semiconductor substrate 1 are measured with high accuracy by measuring the change in the resonance frequencies of a QCM 9 using a crystal oscillator formed on the same grooves as the grooves formed on the semiconductor substrate 1 on its surface. - 特許庁