基板処理に直接的に又は間接的に使用される液体、気体又は固体等の物質を、必要な時に必要な量だけ供給可能にし、供給設備や輸送設備の小型化を実現することができる半導体製造装置、半導体製造システム及び基板処理方法を提供する。例文帳に追加

To provide semiconductor manufacturing equipment, a semiconductor manufacturing system and a substrate processing method, in which only a required amount of a substance, such as gas, liquid, or solid, which is directly or indirectly used for substrate processing, can be supplied, when required, and thereby reduction in size of supply equipment or transport equipment is realized. - 特許庁

抄き合わせ紙を製造する際の層間接着剤において、イオンコンプレックッスを生成させスプレ−により紙層に添加する方法を採用する場合、見かけ粘性が低くスプレ−容易で、十分な接着力を有する高分子物質と、それを使用することによって強度の高い抄き合わせ紙を製造する方法を提供する。例文帳に追加

To provide a polymeric material having a low apparent viscosity, easy for spraying and having a sufficient adhesive force in the case of using a method of generating an ion complex and adding it to paper layers by spraying as an interlayer adhesive in producing a combination paper, and a method for producing the combination paper having a high strength by using the same polymeric material. - 特許庁

廃棄物を焼却、抑制燃焼、外部からの間接加熱のいずれかの方法により熱分解する廃棄物熱分解処理方法において、前記廃棄物とともに、生石灰、消石灰、炭酸カルシウムの１種または２種以上を含む石灰系物質を供給して熱分解し、該熱分解後の残さを製鉄工程の副原料として使用することを特徴とする廃棄物の熱分解処理方法。例文帳に追加

In the method of pyrolytically treating waste by any one of a waste incineration method, a retarded combustion method for waste and a method of indirectly heating waste from the outside, a calcareous substance containing at least one of quicklime, slaked lime and calcium carbonate is supplied along with waste to pyrolytically treat the waste and the residue after pyrolysis is used as an auxiliary raw material for iron making process. - 特許庁